驰奔GC系列小型离子溅射仪

【简介】

驰奔-E系列扫描电镜，高真空模式或高分辨模式，要求样品必须导电良好，否则样品表面荷电造成图像缺陷和分辨率恶化。

对于非导电样品，表面导电膜层制备，最常使用溅射金属导电膜层。常用贵金属如Au、Pt、Au/Pd合金，获的细小晶粒的精细膜层。

驰奔GC系列离子溅射仪，可满足各种材料的溅射镀膜、各种扫描电镜额溅射镀膜。为客户提供正确解决方案。

【特点】

● 多种靶材可供可选

● 两种普通直流和磁控溅射模式可选

● 大型玻璃工作室，溅射过程中真空稳定，溅射电流稳定，溅射膜层均匀。

● 可以实现冷溅射，无样品热损伤。

● 可选择旋转样品台、可倾斜旋转台。确保极度粗糙表面，球形颗粒获得良好镀膜。

【技术指标】

真空样品室： 直径：160mm，高：120mm

样品台及工作距离：高配旋转样品台，简配固定样品台，高度手动调节

溅射面积： Ф50mm，最大放置

真空指示表： 最高真空度：≤ 4X10-2 mbar

离子电流表： 最大电流：50mA/100mA

高压：-1200V/ -3000V

定时器： 最长时间：1~3600S

真空度手动控制：微型真空气阀，可连接φ3mm软管

可通入气体： 多种、

机械泵： 2L/S （120L/min）