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电子半导体行业0.1微米颗粒检测方案

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概述
实验/设备条件
样品提取
实验/操作方法
实验结果/结论
仪器/耗材清单

在线微纳米液体颗粒检测传感器可以对对清洗剂、半导体、超纯水、电子产品、手机玻璃、平板玻璃、硅晶片经济型滤油设施,各类液压试验台,海洋钻采平台监测,液压机床运行监测,过滤滤芯检测试验台、半导体颗粒监控、药业高纯水颗粒检测等领域进行固体颗粒污染度检测,及对有机液体、聚合物溶液进行不溶性微粒的检测。目前是英国普洛帝分析测试集团向微纳米结合检测的重要产品。

在线优势:

在线颗粒监测和分析,是油液颗粒检测传感器的经典应用场所,并为生产线上的重要组成部分。在线、实时、连续取样、报警提示,能够即时掌握颗粒污染诊断和趋势。

离线优势:

移动测量和固定测量颗粒大小及多少双模式,解决连续跟踪监测的生产过程难题,无论您是即时测量还是清洁跟踪监测,都会为您提供完善的测试方案,让您的测试更加快捷。

检测范围:

应符合ISO4402(ACFTD校准)和ISO11171(MTD)或JJG1061相关技术要求;

纳米类:0.01微米~50微米;

微米类:1微米~450微米;

大颗粒:40微米~1000微米;

A传感器2~100μm;

B传感器1~150μm;

C传感器1~450μm;

D传感器0.03~0.10μm;

E传感器0.04~0.15μm;

F传感器0.05~0.20μm;

G传感器0.1~0.5μm;

H传感器0.1~1.0μm;

I传感器0.2~2.0μm(*);

J传感器0.5~20.0μm(*);

K传感器2~800μm;

L传感器40~1000μm;

N传感器100~1000μm;

M传感器50~1000μm;

特殊检测:自定义检测1~100μm或者4~70μm(c)微粒,

0.1μm或者 0.1μm(c)任意检测;

通道数:1000 个,可任意4、6、8、16、32、64、128个颗粒尺寸范围的颗粒计数值;

 


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