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选购匀胶机旋涂仪(Spin Coater)的三要素

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概述
实验/设备条件
样品提取
实验/操作方法
实验结果/结论
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匀胶机有很多种称谓,(英文叫Spin Coater或者Spin Processor),又称甩胶机、匀胶台、旋转涂胶机、旋转涂膜机、旋转涂层机、旋转涂布机、旋转薄膜机、旋转涂覆仪、旋转涂膜仪、匀膜机,总的来说,他们原理都是一样的,既在高速旋转的基片上,滴注各类胶液,利用离心力使滴在基片上的胶液均匀地涂覆在基片上,厚度视不同胶液和基片间的粘滞系数而不同,也和旋转速度及时间有关。

  针对目前匀胶机市场品牌众多,良莠不齐现象,笔者结合自己多年从事匀胶机技术服务的实际经验。帮助广大用户提高辨别能力,为用户提供了直观明确的选择标准。

从其原理来说,我们可以看出选购匀胶机需要注意的三个要素:

1、旋转速度

  转速的快慢和控制精度直接关系到旋涂层的厚度控制和膜层均匀性。如果标示的转速和电机的实际转速如果误差很大,对于要求精密涂覆的科研人员来说是无法获得准确的实验数据的。国产的某些匀胶机只能提供转速范围,并不能极ng确标定实时的转速。进口的匀胶机虽然大部分能标定转速,但是大部分转速精度没有国际标准认定。建议购买转速控制方面有国际认定标准的,像美国Laurell的产品,通过了NIST标准认定。

2、真空吸附系统的构造

   真空泵一定要无油的,压力标定准确,国内生产的无油真空泵实在不敢恭维。因为任何的油污都可能堵塞真空管道,如果真空吸附力降低,会导致基片吸附不住而产生“飞片”的情况,还会让滴胶液不慎进入真空管道系统造成完全堵塞。用过国产匀胶机的客户常常会关心怎么清洗的问题,这一点许多国外的匀胶机做得不错,他们有通过联动机制,如果真空吸附力不够的时候,不会开始旋转。这点WS-650Mz-23NPP这种型号的产品做得比较好。

3、材质的选择

对于半导体化工行业的应用来说,材质的选择尤为关键,大部分匀胶机采用的是不锈钢或者普通塑料材质,因为这种材质的成本很低,不锈钢的对于各类化工胶液的抗腐蚀性不太好,塑料对于较高温度和压力下易产生变形。如果这种变形引起托盘的位置失去水平的话,将会导致旋涂时,时高时低的颠簸状态。自然无法得到好的旋涂效果。例如美国Laurell的WS-400B,WS650,HL650等型号都是采用天然聚丙烯(NPP)或者聚四氟乙烯(特氟隆, PTFE)材质。这两种材质具备绿色环保、节约资源、重量轻、强度大、抗冲击性能好、坚固耐用、花纹自然、光泽度好等优点。

需要更详细的关于匀胶机方面的产品咨询,

请与迈可诺技术有限公司 钟星 13681069478 tzhong@mycroinc.com QQ2521086670


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