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以一抵四的精研一体机,30min完成SEM样品制备

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概述
实验/设备条件
样品提取
实验/操作方法
实验结果/结论
仪器/耗材清单
在固体材料的微观结构表征过程中,对毫米和微米尺度的微小目
标进行定位切割研磨抛光是一项具有挑战性的工作采用传统
的至少需要四台仪器进行 SEM 电镜的样品制备,如图 1 所示,这样
的制备流程包括使用切割机对样品进行切割加工成小尺寸的块体;使
用镶嵌机对小型块体进行镶嵌包埋,以便于后续加工;使用磨抛机对
需要观察的表面进行研磨抛光加工;Z后用显微镜观察抛光表面是
否符合 SEM 电镜样品的要求如果未能满足要求,则需要重复这一
繁琐耗时的制备流程在对微小目标进行定位方面,这样传统的制
样方式存在很多缺陷,其中包括不易确定观察目标的位置,不易对目
标进行角度校准,需要花费大量的人工精力和时间,微小目标容易丢
失,小尺寸样品难以操作导致加工工时繁琐 Leica EM TXP 精研一体机
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