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用户论文:纳米硅薄膜界面结构的微观特征

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全文请访问:http://www.spm.com.cn/papers/p84.pdf


对使用等离子体增强化学汽相沉积法(PECVD)制备的纳米硅薄膜(nc-Si:H),使用HREM及STM技术观测了其显微结构,给出大量的界面结构图像首次获得有关晶粒及界面区中原子的分布情况使我们认识到nc-Si:H膜中界面区内的硅原子仍然是具有短程有序性并不是完全无序的

全文请访问:http://www.spm.com.cn/papers/p84.pdf 扫描探针显微镜(SPM/AFM/STM)
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