能散型X射线荧光光谱仪是一种可以对多元素进行快速同时测定的仪器。试样受X射线照射后,其中各元素原子的内壳层(K,L或M层)电子被激发逐出原子而引起电子跃迁,并发射出该元素的特征X射线荧光。每一种元素都有其特定波长的特征X射线。能散型X射线荧光光谱仪(EDXRF)利用荧光X射线具有不同能量的特点,由探测器本身的能量分辨本领来分辨探测到的X射线。
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