气相沉积系统是半导体工业中应用最为广泛的用来沉积多种材料的技术,包括大范围的绝缘材料,大多数金属材料和金属合金材料。气相沉积系统是传统的制备薄膜的技术,其原理是利用气态的先驱反应物,通过原子、分子间化学反应,使得气态前驱体中的某些成分分解,而在基体上形成薄膜。气相沉积系统包括常压化学气相沉积、等离子体辅助化学沉积、激光辅助化学沉积、金属有机化合物沉积等。
品牌介绍:英国KP Technology是一家研发、生产、销售表面研究工具的公司。产品有单点开尔文探头、超高真空(UHV)开尔文探针、手套箱系统-GB050等。产品广泛用... [查看更多]
品牌介绍:Nano-Master的前身是那诺-马斯特美国,该公司是法国那诺-马斯特有限公司于1992年在美国所创立的全资子公司,是一家国际领先的缺陷检测和高速镀层测量的计... [查看更多]
品牌介绍:成都纽曼和瑞微波技术有限公司为成都沃特塞恩电子技术有限公司的全资控股子公司,是一家专业从事微波能和微波等离子体应用技术研发和生产的高新技术企业。产品有微波等离子... [查看更多]
品牌介绍:YES(Yield Engineering Systems,Inc.)致力于打造工艺生产过程中所需要的各种控制设备。该公司的产品线包括真空固化炉、化学气相沉积(... [查看更多]
品牌介绍:美国Rocky Mountain Vacuum Tech是一家研发、生产、销售沉积系统(PVD和CVD),蚀刻机的公司。产品有多功能镀膜系统、反应离子刻蚀系统、... [查看更多]
品牌介绍:德国tectra是一家研发、生产、销售超真空组件的公司。产品有电子束蒸发器、高压沉积系统、等离子体原子源等。产品广泛用于真空,薄膜沉积和分析设备领域。... [查看更多]
品牌介绍: Torr International,Inc.成立于1989年是一家真空技术公司,主要产品有CRC磁控溅射系统、热蒸发和电子束蒸发系统、样品制备、反应离子蚀... [查看更多]
品牌介绍:1995年,JamesA.Greer博士创立了PVD产品,开发和销售大面积脉冲激光沉积系统。他以前在Raytheon研究部工作,Greer博士开发了能够将PLD... [查看更多]