- 电镜光阑简介
- 光阑在电子光柱中是连续受到高能电子束轰击的,易受污染使光阑边缘偏离圆形,所以要清洗光阑,大部分加高温把污染物烧掉,相当于不断受到电火严酷考验!因此光阑一般用比较坚硬耐高温的铂或者钼制作,也有用Si等材料制备。白金光阑用酒精灯外焰加热可烧掉污染物,钼光阑还要在高真空中坩埚加热。清洗手续繁琐不说,光阑长时间受到电子束轰击,光阑孔比正常凹陷,而且孔边缘变得钝化,不锐利;清洗过几次后,甚至有的光阑孔变形,圆度变差,光阑表面不光亮;用镊子夹持光阑时,划伤光阑表面,尤其光阑小孔极易损坏边缘位置。这样造成电镜的电子束光斑变形,测试图像失真,精度变差。
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