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仪器网/ 采购中心/ 采购供应/电子束刻蚀系统 2024-04-19 20:53:33
电子束刻蚀系统简介
电子束刻蚀系统是近十年来发展起来的一项新的微细加工技术,它是在计算机控制下,利用荷能电子束对抗蚀剂的作用而形成的一套全新的高分辨率刻蚀技术。它所加工出的图形分辨高、线条边缘陡直。电子束刻蚀不仅已广泛用于制造光刻蚀复制用的掩膜,而且还可以直接在晶片上加工芯片图形,实现了以“无掩膜”曝光技术来制造集成电路和器件,当前已成为加工低微米和亚微米尺寸微电子器件的重要手段。
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