- 高纯气特气分析仪简介
- 高纯气特气分析仪可提供一整套气体混合物的分析方法，检测限可达ppb级（<50ppb），既可用于检测常见的He、H2，Ar，N2，CO2中的微量杂质，还可分析特种气体如HCL，SiH4，BCL3，N2O,CF4等。仪器配备高灵敏度的氦离子化检测器，实现多种气体高灵敏度检测。采用中心切割与反吹技术，配置具有吹扫保护气路的进样切换阀和进口氦气纯化器，去除微量杂质。高纯气特气分析仪应用领域极广，无论是药物分析实验室亦或是硅芯片制造厂，都需要使用高质量高纯度气体。
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