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扫描电镜使用方法

  扫描电镜通过电子束在样品上进行逐点扫描,获得三维立体图像,图像观察视野大、景深长、富有立体感。在观察样品表面形貌的同时,进行晶体学分析及成分分析。

扫描电镜的原理

  在5~30 KV 加速电压作用下,扫描电镜电子枪发出几十微米直径的电子束,经diyi、第二光镜及末透镜缩小成直径约几十埃的电子探针,会聚在样品上。在位于第二聚光镜和物镜之间的扫描线圈作用下,电子探针在样品表面作光栅状扫描并激发多种电子信号。这些电子信号被相应地收集检测系统收集,经放大并转换成电信号,被送到显像管栅极用以调制显像管的亮度。显像管中的电子束在荧光屏上也作光栅状扫描,这种扫描运动与样品表面电子束扫描运动严格同步。

扫描电镜的原理.jpg

  所以,由探测器逐点检测的电子信号,将一一对应调制显像管相应点的亮度。即电子束在样品表面与显像管的严格同步扫描,使得电子像衬度与所接收信号强度一一对应,由此获得反应样品表面形貌或成分特征的扫描电镜图像。

扫描电镜使用步骤

  一、开机(电源开关和准备开关均为打开状态)

  1、开水(系统不报警方可);

  2、开扫描电镜总电源;

  3、电气柜后面开关打开,将自动/手动(AUTO/MAN)开关拔到自动(AUTO)的位置,此时电炉进行加热;

  4、抽真空30分钟后,断开准备开关;

  5、开扫描电镜系统软件;

  6、打开主机前面面板上的电气柜开关,抽真空10分钟。

  二、准备观测图像

  1、打开V1阀,此时镜筒真空已准备好,用左手延径水平方向拉开V1阀,阀杆下面的弹片将V1阀固定在打开位置;

  2、加高压(30KV)导电性不好的产品(20-25KV),加高压时Z好按着每步的速度逐步增加,如果长按按钮,高压会连续快速增加,不容易控制到要求的数值;

  3、调节扫描电镜对比度和亮度:①调节对比度,使图像上出现一些噪声为Z佳,一般情况下在60左右;②调节图像亮度,使屏幕显示的灰度合适,一般情况下,相应的数字参数值为0-20左右;

  4、加灯丝:顺时针慢慢旋转灯丝加热旋钮,直至发射束流饱和,灯丝加热旋钮指示正常在6-7之间,调节偏压束流为100uA左右;

  5、机械对中:扫描电镜每次换灯丝后需旋转镜筒头上的三个螺钉,使图像显示到Z清楚的点;

  6、物镜光阑对中(合轴):①选区,并挑选图像上的一个特征点;②选择放大倍数1000-2000范围;③反复调节粗调,使图像聚焦至不聚焦往反进行,观察图像的移动;④调节物镜光阑的两个螺钮,使图像不发生位移或图像移动Z小为止;

  7、像散消除:选择“选区”位置,从放大倍数1000倍开始消像散,增加到欲观察的放大倍数下再次消像散直至图像没有拉长现象;

  8、拍照、保存。

  三、系统停机

  1、关闭扫描电镜加热灯丝:逆时针旋转灯丝加热旋钮到底,旋钮标记指示在“ON”的位置,束流显示的束流为0UA;

  2、将对比度降至Zdi,使其数字参数值为0,关闭高压,使其数字参数值为0;

  3、关闭V1阀:用左手将V1阀阀杆下面的弹片沿上按在阀杆上,用手掌径向水平推V1阀,当V1阀完全推到底后,再用力推一下V1阀的阀杆,确保V1阀完全关闭;

  4、关闭扫描电镜主机面板上的电气柜开关,打开准备开关,将主机后的开关自动/手动(AUTO)/(MAN)打到手动(MAN)的位置,冷却电炉30分钟。

  5、关闭系统软件→关电气柜开关→关总电源→关水。

扫描电镜.jpg

扫描电镜注意事项

  1、进入工作室严禁大声喧哗;

  2、在真空度没有达到要求之前,镜筒隔离阀V1决不能打开;

  3、在扩散泵开始加热二十分钟期间,主阀V5决不能打开;

  4、真空控制方式从手动转自动时,要特别注意每个手动阀门是否为关闭状态;

  5、在没有进入高真空之前,决不能接通探测器高压,电子枪及灯丝加热电源;

  6、不要在关控制台电源的同时,立刻放气到样品室和电子枪,以免引起电子枪探测器上残余高压放电,损坏灯丝及闪烁体;

  7、不要在扫描电镜通电情况下,进行印刷板及导线插头的插接;

  8、如果镜筒部分没有放气,不要拔掉物镜光阑杆;

  9、在样品室放气的情况下,不要手动打开主阀和V1阀;

  10、长时间不使用扫描电镜时,每周至少保持抽真空两次,保持机器内真空度良好;

  11、观察机械泵的油不少于2/3;

  12、停水的时候,机器会出现报警,此时将主机后面板打开,接一盆凉水,用湿布给电炉手动降温,直至电炉不再热为止(30分钟左右)Z后再关闭电气柜开关和总电源。


2005-03-11 浏览次数:12418次
本文来源:https://www.yiqi.com/daogou/detail_2597.html
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    扫描电镜从原理上讲就是利用聚焦得非常细的高能电子束在试样上扫描,激发出各种物理信息。通过对这些信息的接受、放大和显示成像,获得测试试样表面形貌的观察。

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