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扫描电镜分类

  扫描电镜全称扫描电子显微镜,是自上世纪60年代作为商用电镜面世以来,迅速发展起来的一种新型的电子光学仪器,被广泛地应用于化学、生物、医学、冶金、材料、半导体制造、微电路检查等各个研究领域和工业部门。

扫描电镜的种类

  目前市场上提供的商品扫描电镜有:场发射扫描电镜(FEG-SEM)、常规扫描电镜(CSEM)以及生物用扫描电镜。

纳克微束高分辨场发射扫描电镜 FE-1050系列.jpg

纳克微束高分辨场发射扫描电镜 FE-1050系列

  场发射扫描电镜:

  场发射扫描电镜属于高分辨型电镜,使用场发射枪,如同也一个2000W特种电源,亮度高,可以照明样品各个部位的细节,电子束斑直径不小于1nm。能把样品1nm尺度的细节成像,可以真正实现低加速电压下工作。

  由于场发射电子枪具有亮度高、能量分散少,阴极源尺寸小等优点,场发射扫描电镜的分辨率已达到3nm。场发射扫描电镜的另一个优点是可以在低加速电压下进行高分辨率观察,因此可以直接观察绝缘体而不发生充、放电现象。

  提供的高分辨率图像可以与同样放大倍率下的透射电镜图像进行对比。现代场发射扫描电镜克服了早期电子源不稳定和使用麻烦的缺点,场发射电子枪参数一经设定后,全部由计算机控制,使用是只需要选定加速电压就可以操作,几十调10万倍图案,也是轻而易举的事情。为此电镜厂家在电子枪的选用、透镜像差校正、信号探测和高真空系统等方面进行了精心设计和制造,追求分辨率的提高,由此可见,分辨率值使反应电镜综合性能的唯yi指标。场发射扫描电镜目前已经大量应用于半导体、电脑、材料等领域。

  常规扫描电镜:

  常规扫描电镜使用热电子枪,与场外发射枪相比,相当10W白炽灯,亮度有限,束斑直径较大。目前,常规扫描电镜采用热发射电子枪,分辨率为6nm左右,若采用六硼化镧电子枪,分辨率可提高到4~5nm。

  常规扫描电镜和场发射扫描电镜分辨相差不大,但想要获得一张3NM分辨率的图像,不是任何一个人是可以实现的,这已经是目前的极限值。至于放大倍率可达到300kx,则没有任何实际意义,因为束斑直径明显大于该倍率下的像元值,分辨率受到束斑直径的限制,但是对于大量的常规检测,常规扫描电镜因其价格便宜,适用性强,维护费用低而不可或缺。

  生物用扫描电镜:

  生物用扫描电镜备有冰冻冷热样品台,可把含水生物样品迅速冷冻并对冰冻样品进行观察,可以减少化学处理引起的人为变化,使观察样品更接近于自然状态。如要观察内部结构,还可用冷刀把样品进行切开,加温使冰升华,并在其上喷镀一层金属再进行观察,所有这些过程都在扫描电镜中不破坏真空的状态下进行。


扫描电镜分类方法

  按照电子枪种类分:钨丝枪、六硼化镧、场发射电子枪(冷场发射、热场发射);

  按照样品室的真空度分:高真空模式、低真空模式、环境模式(冷热高压低压等等);

  按照真空泵分:油扩散泵、分子泵;

  按照自动化程度分:自动、手动;

  按照操作方式分:旋钮操作、鼠标操作;

  按照电器控制系统分:模拟控制、数字控制;

  按照图像显示系统分:模拟显像、数字显像。


2005-03-12 浏览次数:6005次
本文来源:https://www.yiqi.com/daogou/detail_2634.html
延伸阅读
  • 钨灯丝扫描电镜的原理及应用
    钨灯丝扫描电镜总发射电流和束斑都较大,抗干扰能力和稳定性都较好,低真空下可以对不导电样品无荷电成像,可用于形貌观察、显微结构分析、断口形貌分析,在材料、地质、矿产、冶金、机械、化学、化工、物理、电子、生物、医学等领域都有广泛的用途。

    03-13

  • 氩离子抛光扫描电镜的原理及应用
    氩离子抛光扫描电镜利用氩离子抛光技术,通过离子束对样品表面进行削平抛光处理,以便利用扫描电镜等显微观察工具观察样品表面的微观特征。

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  • 台式扫描电镜结构、特点及应用
    台式扫描电镜由三大部分组成:真空系统,电子束系统以及成像系统。了解台式扫描电镜的组成结构,有利于更加合理的使用扫描电镜,从而延长扫描电镜的使用寿命及提高操作的精确度。

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  • 冷冻扫描电镜的原理及优势
    冷冻扫描电镜基于扫描电镜的超低温冷冻制样及传输技术发展而来,具有能在高真空状态下观察含水样品、分辨率高、制样简单快速、可对样品进行断裂刻蚀等优点,是生命科学研究的有力工具。

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  • 环境扫描电镜的原理、特点及应用
    环境扫描电镜的出现被称为该技术领域中的革命性突破。其工作原理与传统仪器有很大不同,极大地减少了对样品的要求及样品种类的限制。在微量物证检验乃至整个法庭科学领域开辟了新的更为广阔的应用前景。

    03-13

  • 场发射扫描电镜的分类及应用
    场发射扫描电镜由电子枪发射电子束,经过一组磁透镜聚焦聚焦后,用遮蔽孔径选择电子束的尺寸后,通过一组控制电子束的扫描线圈,再透过物镜聚焦,打在样品上,在样品的上侧装有讯号接收器,用以择取二次电子或背向散射电子成像。

    03-13

  • 扫描电镜与透射电镜的区别
    电子显微镜已经成为表征各种材料的有力工具。它的多功能性和极高的空间分辨率使其成为许多应用中非常有价值的工具。其中,两种主要的电子显微镜是透射电镜(TEM)和扫描电镜(SEM)。

    03-13

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