氦质谱检漏仪工作原理

　　氦质谱检漏仪是根据质谱学原理，用氦气作示漏气体制成的气密性检测仪器。由离子源、分析器、收集器、冷阴极电离规组成的质谱室和抽气系统及电气部分等组成。

氦质谱检漏仪简介

　　近年来，随着高真空检漏技术科学领域的不断发展和应用技术的日趋成熟，以及高真空检漏仪器技术的不断创新和进步，仪器更新换代很快。从技术性能、高可靠性、准确性、耐用性、灵活性和性价比等各方面都有着划时代的进步，从而使高真空检漏仪器从科学研究领域、实验室的高端应用逐渐普及到工业和民用领域的应用。

　　氦质谱检漏仪是在真空检漏技术领域里应用Z为广泛的一种，这种检漏方法的优点是：检漏灵敏度高(可以检漏到10^-12Pa·m³/s数量级)、仪器响应快、操作简便、安全GX、成本较低、用途广泛等，所以氦质谱检漏仪在许多领域里得到广泛的应用。

氦质谱检漏仪工作原理

　　氦质谱检漏仪是以氦气作为示漏气体，对真空设备及密封器件的微小漏隙进行定位、定量和定性检测的专用检漏仪器。它具有性能稳定、灵敏度高、操作简便，检测迅速等特点，是在真空检漏技术中用得Z普遍的检漏仪器，其测量工作原理如下：

　　氦质谱检漏仪是根据质谱学原理制成的磁偏转型的质谱分析计，用氦气作为示漏检测气体制成的气密性质谱检漏仪器。其结构主要由进样系统、离子源、质量分析器、收集放大器、冷阴极电离真空计等组成。离子源是气体电离，形成一束具有特定能量的离子。质量分析器是一个均匀的磁场空间，不同离子的质荷比不同，在磁场中就会按照不同轨道半径运动而进行分离，在设计时只让氦离子飞出分析器的缝隙，打在收集器上。收集放大器收集氦离子流并送人到电流放大器，通过测量离子流就可知漏率。冷阴极电离真空计指示质谱室的压力及用作保护装置。

氦质谱检漏仪示漏气体的选择

　　质谱检漏仪器对示漏气体的要求及选择一般应从以下几方面考虑：

　　①无害，不能对人体或环境造成伤害;

　　②质量轻，惰性气体，穿透能力强，能穿透微小细缝;

　　③化学性质稳定，不会引起化学反应和易燃易爆;

　　④在空气环境中含量尽可能少且组分基本恒定的气体，满足检漏灵敏度方面的要求，减少本底干扰检测的准确性。

　　氢和氦都是比较理想的示踪气体，空气中的含量少，质量轻，运动速度快，分子直径小，同等条件下，直线运动距离长。在实际使用中，也相对比较容易获取，可以大量使用。由于He具有无色、无臭、无活性、不可燃的特性，因此一般检漏都采用氦气作为示漏气体，但也有用氢气作为示漏气体的，考虑到它的化学性质及危险性，在应用中较少使用，所以实际大部分检漏使用的都是氦气。

　　氦分子在质谱检漏仪器高真空的环境中扩散的速度很高，用氦气作示漏气体其本底噪声低，分子质量及粘滞系数小，因而极易通过漏孔并易扩散;另外，氦系惰性气体是无破坏性、无毒、无危险，不腐蚀设备，故常用氦作示漏气体。将这种气体喷到接有氦质谱检漏仪(调整到仅对氦起反应的工作状态)的被检容器上，若容器某一部位有漏孔，则氦质谱检漏仪立即有所反应，从而可知漏孔所在位置及检测到漏气量大小。

　　泄漏和密封是相对而言的，氦质谱检漏仪检测被检容器的泄漏程度的量化一般用漏率来表示漏率可简单理解为：单位时间内，单位体积容器，压强的变化。