氦质谱检漏仪的技术要求及校准方法

　　氦质谱检漏仪在使用前需要校准。氦质谱检漏仪的校准的主要项目包括:噪音、Z小可检漏率、漏率值校准、清除时间等，其中Z重要的项目是漏率值的校准。漏率值校准通常是在氦质谱检漏仪使用前用标准漏孔进行校准。

氦质谱检漏仪的技术要求

　　1、氦质谱检漏仪在下列条件下应能正常工作

　　①环境温度：5-35℃;

　　②相对湿度：不大于80%;

　　③供电电源：380±38V;220±22V;50±0.5Hz;

　　④大气压力：100±5kPa;

　　⑤仪器附近无强的电磁场干扰，无剧烈震动，无腐蚀性气体。

　　2、外观质量

　　①仪器涂层应色泽均匀，外表不得有明显的损伤和锈蚀。

　　②仪器上的开关、旋钮和调节机构应安装牢固，转动灵活。

　　3、安全要求

　　①绝缘电阻：在正常工作条件下，仪器的电源线和机壳之间的绝缘电阻应大于5MΩ。

　　②绝缘强度：仪器的电源线和机壳之间应能承受1000V、50H交流电压，历时1min而无击穿及飞弧现象。

　　③仪器的泄漏电流不大于3.5mA。

　　4、仪器的错、缺相保护功能

　　使用三相电源的氦质谱检漏仪应当有错、缺相保护措施。

　　5、仪器漏率显示系统误差

　　氦质谱检漏仪离子流放大器及显示系统的误差应不超过±5%。

　　6、仪器漏率音响报警功能

　　氦质谱检漏仪应当设有被检工件漏率音响报警装置。

　　7、仪器入口处压力测量和控制电路

　　带有粗抽泵的氦质谱检漏仪，在检漏口应当有压力指示仪表，并应具有在制造厂规定的压力范围内从粗抽自动(或手动)切换到检漏的功能。

　　8、仪器质谱室灯丝保护功能

　　氦质谱检漏仪中和质谱室相连的高真空抽气系统应当有压力指示仪表与质谱室灯丝保护电路，其动作范围应符合制造厂的规定。

　　9、达到Z佳工作压力的时间

　　使用油扩散泵的氦质谱检漏仪，其高真空系统开机后压力达到制造厂规定的Z佳工作压力的时间。

　　①加液氮的仪器应不大于0.5h。

　　②不加液氮的仪器应不大于2h

　　10、仪器的Z小可检漏率

　　用常规检漏方式的氦质谱检漏仪在全抽速，仪器的Z小可检漏率应不大于2×10-11Pa·m3·s-1;用逆扩散检漏方式的氦质谱检漏仪，仪器的Z小可检漏率应不大于2×10-10Pa·m3·s-1。

　　11、仪器的时间常数

　　氦质谱检漏仪的清除时间或响应时间应不大于3s.

　　12、仪器的自身漏隙

　　氦质谱检漏仪的高真空系统，不应有对自身喷氦就可以检出漏隙存在。

氦质谱检漏仪的校准方法

　　1、标准漏孔校准氦质谱检漏仪方法

　　采用标准漏孔对氦质谱检漏仪进行校准，将一系列经过校准的不同量级标准漏孔分别接入氦质谱检漏仪系统，实验室温度保持在23±1℃，可以读出一组标准漏孔漏率的检漏仪示值，从而得到标准漏孔漏率值与检漏仪示值的关系曲线，并通过对这条曲线进行数学拟合，得到氦质谱检漏仪全量程测量范围示值与漏率值之间的拟合公式。

　　2、校准仪器的选择

　　为了满足氦质谱检漏仪现场校准，便于携带，真空标准漏孔选用薄膜渗氦型标准漏孔。薄膜渗氦型标准漏孔具有对污染不敏感;漏率可以做得很小;重复性、稳定性等计量特性好;对温度变化敏感，使用需要对漏率温度修正等特点。

　　3、校准步骤

　　设置环境温度为23.0℃，将标准漏孔通过漏孔隔离阀与氦质谱检漏仪相连接，打开漏孔阀，打开检漏仪进行平衡，平衡6h后，开始测量标准漏孔在检漏仪的读数示值，每个10min记录一个数值及此时环境温度，共记录6组数据，对六组漏率示值数据进行温度修正，测量重复性用相对实验标准偏差表示。