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我国EUV光源锡滴发生器取得新进展; 中芯国际晶圆测试新专利公布; 荣耀消除屏幕闪烁专利及设备已公布

2023-09-10 10:02:21  来源:内容来源于网络 浏览量:53次
【导读】我国EUV光源锡滴发生器取得新进展; 中芯国际晶圆测试新专利公布; 荣耀消除屏幕闪烁专利及设备已公布

1. EUV光刻光源核心部件研究取得新进展,光科所锡滴发生器工作频率达到100kHz

消息,国内权威期刊《激光与光电子学进展》近日发表了中科院上海光机所团队提交的文章《100kHz重复频率锡滴靶材的研究》。

文章称,锡滴发生器是激光等离子体极紫外(LPP-EUV)光刻光源中最重要的核心部件之一。 光刻光源要求锡滴靶材具有重复率高、直径小、稳定性好的特点。 本文展示了上海光机所EUV光源团队近期在液滴发生器方面的研究进展,包括液滴直径、重复频率、间距、位置和稳定性等。

现阶段,该院团队研发的锡滴发生器实验装置可以以100kHz的频率喷射直径~40μm、间距~230μm的锡滴,工作时间近5小时。 在10 s的短时间内,锡滴在垂直和水平方向上的位置不稳定性分别约为2μm和1μm。

但与目前的商业产品相比,上述指标仍存在较大差距。 例如,2015年ASML产品中使用的液滴靶材可以实现液滴直径约27μm,频率为50kHz,液滴间距大于1mm,最大到达范围为3mm,位置不稳定性短时间30 s内液滴直径~1 μm,连续运行1个月以上,20 min内液滴直径不稳定度为0.5 μm。

文章指出,未来锡滴的使用性能,如液滴直径、工作时间和长期位置稳定性等需要进一步提高,相关检测分析方法也需要改进以满足要求用于液体的 EUV 光刻光源。 掉落目标的工程要求。

2、中芯国际“承载装置、晶圆测试设备及晶圆测试方法”专利公告

消息,天眼查显示,中芯国际“承载装置、晶圆测试设备及晶圆测试方法”专利公开。 申请公开日期为9月1日,申请公开号为CN116682750A。

该专利的专利权人为中芯国际制造(上海)有限公司和中芯国际制造(北京)有限公司。

专利摘要展示了一种承载装置、晶圆测试设备以及晶圆测试方法。 承载装置包括:主加热平台,用于承载待测晶圆并对待测晶圆进行加热; 环形副加热平台,围绕主加热平台,用于与主加热平台的顶面形成用于放置待测晶圆的容纳空间。 降低因探针受热不均而导致针痕偏差的风险,有利于提高晶圆测试的可靠性,降低因晶圆表面损伤而导致良率损失的概率和可靠性风险; 同时,在对待测晶圆进行高温测试时,由于探针卡上的每个探针受热均匀,因此在测试过程中省略了预热探针卡的步骤,提高了生产效率。 ,降低测试成本。

3、荣耀“一种消除屏幕闪烁的方法及电子装置”专利公布

消息,天眼查消息,荣耀终端股份有限公司“一种消除屏幕闪烁的方法及电子装置”专利公开。 申请公开日期为9月1日,申请公开号为CN116679509A。

专利摘要显示,本申请提供了一种消除屏幕闪烁的方法及电子设备,涉及光学成像技术领域。 该方法包括:根据抗闪烁传感器获得的光谱信息值获得第一序列; 将第一序列和第二序列进行差分处理得到第三序列,第二序列为第一序列的移位序列; 根据第三序列中的光谱信息值来获取屏幕闪烁频率; 将屏幕闪烁频率发送至电子设备的自动曝光模块,以使自动曝光模块根据屏幕闪烁频率调整曝光时间。 其中,差分处理可以将环境光中的光对应的原始光源波峰与环境光对应的平移后的波谷位置严格对齐。 峰谷区分时,仅消除直流分量的干扰,不会造成原始数据的失真。 丢失,从而可以正常检测光源频率,从而消除电子设备中的屏幕闪烁。

4、荣誉专利“移动终端天线的调整方法、装置、电子设备及存储介质”发布

消息,天眼查显示,荣耀终端股份有限公司“移动终端天线调整方法、装置、电子设备及存储介质”专利已公开。 申请公开日期为9月1日,申请公开号为CN116684519A。

专利摘要表明,本申请实施例提供了一种调整移动终端天线的方法、装置、电子设备及存储介质。 该方法包括:获取移动终端的触摸数据和移动终端的姿态数据; 触摸数据指示 移动终端触摸屏被触摸的位置; 根据触摸数据和手势数据确定移动终端的握持模式; 根据移动终端的握持模式,将移动终端的天线工作状态调整为握持模式。 保持模式对应的工作状态。 通过移动终端的触摸数据和移动终端的姿态数据,可以确定人手在移动终端的触摸显示屏上触摸的位置以及移动终端当前的姿态,从而可以确定移动终端的位置。可以确定移动终端与人手接触的天线面积,进而可以确定移动终端中受人手影响的天线。 这样可以有针对性地调整移动终端天线的工作状态,从而提高移动终端的通信性能。

5.中科大提出金属电子穿梭催化新范式

近日,中国科学技术大学黄汉民教授课题组提出了“金属电子穿梭催化”新范式,并利用该范式开创了首个非活化烯烃二烷基化反应。 相关研究成果于8月21日在线发表在《自然催化》杂志上,标题为“Double烷基-烷基键构建跨烯烃通过镍电子穿梭催化实现”。

过渡金属催化的碳-碳键合反应是当代有机化学研究的重要组成部分。 其中,C(sp2)-C(sp2)键合反应是基于各种碳-金属活性中间体的相互转化。 取得了很大进展,该研究获得了2010年诺贝尔化学奖。然而过渡金属催化的C(sp3)-C(sp3)键合反应发展相对缓慢。 这是由于在此类反应过程中形成不稳定的烷基金属中间体,从而导致各种副反应。 ,使得经典催化范式难以应用于C(sp3)-C(sp3)键合反应。 烯烃的双碳化反应,即通过一步反应在烯烃的两端同时引入两个碳官能团,由于其可以有效地连接碳原子并有利于合成,近年来引起了合成化学家的广泛关注。复杂分子的构建。 现有的报道往往受到C(sp2)官能团引入的限制,或者需要提前在烯烃上引入配位基团以稳定烷基金属中间体,这无疑降低了反应的底物适用性和步骤经济性。 不符合绿色化学和碳中和的发展目标。

针对烯烃双官能化反应的挑战,经过长期的研究积累和广泛的实验探索,研究团队提出了“金属电子穿梭”催化新范式,即利用金属催化剂作为电子穿梭来引发和猝灭自由基。 不饱和键的添加使得能够构建多个烷基碳-碳键,从而避免不稳定的烷基金属中间体的生成。 在这项研究工作中,研究人员利用镍催化剂作为电子穿梭,硝氧基缩醛和卤代烃作为烷基化试剂,实现了非活化烯烃的双烷基化反应。 该方法与简单烯烃、非活化烯烃和多取代烯烃具有良好的相容性。 同时,该反应条件下可以应用多种类型的烷基化试剂。 也可以直接使用仲胺和多聚甲醛。 它可以代替氮氧缩醛进行四组分反应,进一步拓宽了反应的应用范围。

该反应为合成非天然氨基酸衍生物(例如氟化和非氟化δ-氨基酸)提供了有效的方法。 同时,反应引入了多种官能团,可以进一步转化,合成更有价值的复杂分子。 例如,通过对反应产物进行还原环化,可以快速构建广泛存在于药物分子中的哌啶。 利用这种转化策略,研究人员合成了药物分子Mepazine和相应的氟化衍生物,充分证明了该反应的实用价值。

《自然催化》杂志的审稿人对这项工作给予了高度评价,称该工作“研究内容令人着迷”(……研究结果足够引人注目……)、“代表了自由基介导的双功能化反应方面的一项杰出工作” “(这篇具有重要综合意义的论文代表了自由基介导的双官能化反应的出色工作。)。 值得强调的是,该反应不仅具有较高的合成应用价值,而且可以作为金属电子穿梭催化范式的范例,展示了该催化范式的广阔发展前景。 对金属电子穿梭催化范式的进一步研究有望带动有机化学中新的键合方法的发展,并对天然产物、药物和功能分子合成的发展起到推动作用。

6、Marvell电子宣布在印度的扩张计划:员工人数增至500人,并建设研发实验室。 在印度政府政策的激励下,全球各大半导体和电子企业都在印度加大投资、建厂、拓展业务。 据 Digitimes 9 月 4 日报道,Marvell 公布了在印度的未来发展战略,计划在浦那设立新办事处,将员工人数增加一倍,增加更多实验室和服务器。

Marvell电子印度区域经理Navin Bishnoi在接受媒体采访时表示,公司未来五年的规划意义重大。 “今天,我们正在建设一个10万平方英尺的新办公室,并计划在第四季度搬入。这个新设施可以满足公司将员工人数增加一倍的要求,未来将增加到大约500人。此外,公司还将建设两个拥有300台服务器的大型实验室,Marvell电子的存储产品组合以及所有端到端产品开发都将在这个新的研发中心进行。

据了解,Marvell电子在印度的浦那、班加罗尔、海得拉巴和钦奈设立了分支机构,近年来在印度的规模稳步扩大。 除了在印度建立多个研发中心外,Marvell电子还在印度经营企业IT开发、软件开发、网络安全等业务。 目前,该公司很大一部分研发工作在印度进行。

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