干涉显微无损测量、微纳米三坐标测量申报国家重点研发计划专项

无损检测是工业发展必不可少的有效工具，在一定程度上反映了一个国家的工业发展水平，无损检测的重要性已得到公认。三坐标检测是检验工件的一种精密测量方法。广泛应用于机械制造业，汽车工业等现代工业中。运用三坐标测量机对工件进行形位公差的检验和测量。判断该工件的误差是不是在公差范围之内。也叫三坐标测量。

国家重点研发计划“制造基础技术与关键部件”重点专项：“硅基MEMS高深宽比三维结构的干涉显微无损测量技术”课题三“测量系统的量值溯源、校准与误差补偿”以及“跨尺度微纳米三坐标测量基础理论与技术”课题三“非接触纳米定位技术”，均由上海计量院负责。

近日，上诉两个课题，上海计量院成功申报国家重点研发计划专项。上海计量院将打破原有思维模式，积极探索跨行业、跨单位、跨部门的科技项目合作模式，联合国内高校、科研院所和龙头企业协同创新，全力以赴建设与上海张江综合性国家科学中心相适应的质量技术基础平台。

干涉显微镜

利用光波的干涉原理精确测量试样表面高度微小差别的计量仪器。由于分开光束的方法不同，有不同类型的干涉显微镜，以及用于测定非均匀样品的积分显微镜干涉仪。干涉显微镜主要用于测定活的或未固定的相互分散的细胞或组织的厚度或折射率。

无损检测

也叫无损探伤，指在不损害或不影响被检测对象使用性能,不伤害被检测对象内部组织的前提下，利用材料内部结构异常或缺陷存在引起的热、声、光、电、磁等反应的变化，采用射线、超声、红外、电磁等原理技术并结合仪器对材料、零件、设备对试件内部及表面的结构、性质、状态及缺陷的类型、性质、数量、形状、位置、尺寸、分布及其变化进行检查和测试的技术。常见的如超声波检测焊缝中的裂纹。

无损检测的仪器

主要有射线检验(RT)、超声检测(UT)、磁粉检测(MT)和液体渗透检测(PT) 四种。其他无损检测方法有涡流检测(ECT)、声发射检测(AE)、热像/红外(TIR)、泄漏试验(LT)、交流场测量技术(ACFMT)、漏磁检验(MFL)、远场测试检测方法(RFT)、超声波衍射时差法(TOFD)等。

无损检测的未来前景

无损检测已不再是仅仅使用X 射线，包括声、电、磁、电磁波、中子、激光等各种物理现象几乎都被用做于了无损检测，譬如：超声检测、涡流检测、磁粉检测、射线检测、渗透检测、目视检测、红外检测、微波检测、泄漏检测、声发射检测、漏磁检测、磁记忆检测、热中子照相检测、激光散斑成像检测、光纤光栅传感技术，等等，而且还在不断地开发和应用新的方法和技术。

譬如：射线检测——传统技术是：胶片射线照相(X 射线和伽马射线)。

新技术有：加速器高能X射线照相、数字射线成像(DR)、计算机射线照相(CR，类似于数码照相)、计算机层析成像(CT)、射线衍射等等。

超声检测——传统技术是：A 型超声(A 扫描超声，A 超)。新技术有：B 扫描超声(B 超)、C 扫描超声(C 超)、超声衍射(TOFD)、相控阵超声、共振超声、电磁超声、超声导波等等。

三坐标测量仪

指在一个六面体的空间范围内，能够表现几何形状、长度及圆周分度等测量能力的仪器，又称为三坐标测量机或三坐标量床。三坐标测量仪又可定义“一种具有可作三个方向移动的探测器，可在三个相互垂直的导轨上移动，此探测器以接触或非接触等方式传递讯号，三个轴的位移测量系统(如光栅尺)经数据处理器或计算机等计算出工件的各点(x，y，z)及各项功能测量的仪器”。三坐标测量仪的测量功能应包括尺寸精度、定位精度、几何精度及轮廓精度等。

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