共聚焦三维表面形貌仪参数说明

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【导读】共聚焦三维表面形貌仪具有光学形貌上最高的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机，空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的最佳配置。项目简述参数说明共聚焦三维表面...

共聚焦三维表面形貌仪具有光学形貌上Zgao的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机，空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的Z佳配置。项目简述

参数说明

共聚焦三维表面形貌仪

可快速垂直扫描的旋转盘共焦技术。

使用高数值孔径(0.95)以及高倍数的(150X)3D全视野3D镜头，用以表征坡度分析(Zda斜率<干涉测量>:72ovs44o)。

具有光学形貌上Zgao的横向分辨率，附有5百万自动分辨率的CCD相机，空间下样可调至0.05um，是表面特征以及形貌的测量的Z佳配置。

在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制（0.1%-1**%)

应用于透明层/薄膜。

兼容亮视野&暗视野;光学DIC。

长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。

独有的稳定性。

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2004-09-14 09:23:03

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