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- 【导读】双模式三维表面形貌仪是集合了共焦光学形貌仪,WLI白光干涉形貌仪,原子力显微镜,接触和非接触式双模式表面形貌检测项目简述1、双模式三维表面形貌仪共焦可快速垂直扫描的旋转盘共焦技术。...
双模式三维表面形貌仪是集合了共焦光学形貌仪,WLI白光干涉形貌仪,原子力显微镜,接触和非接触式双模式表面形貌检测项目简述
1、双模式三维表面形貌仪共焦可快速垂直扫描的旋转盘共焦技术。使用高数值孔径(0.95)以及高倍数的(150X)3D全视野3D镜头,用以表征坡度分析(Zda斜率<干涉测量>:72ovs44o)。具有光学形貌上Zgao的横向分辨率,附有5百万自动分辨率的CCD相机,空间下样可调至0.05um,是表面特征以及形貌的测量的Z佳配置。在测量表面粗糙度/表面反射率上无限制(0.1%-1**%)应用于透明层/薄膜。兼容亮视野&暗视野;光学DIC。长距离远摄镜头是用以测量高纵横比以及坡度特性的理想之选。独有的稳定性。2、双模式三维表面形貌仪干涉仪(WLI)Z向高分辨率,亚纳米级兼具相移(PSI)以及垂直扫描(VSI)模式Z向分辨率可独立放大四色CCD相机,用户可自选的LED光源(白光,绿光,蓝光和红光)高达五百万像素的可自动分辨的CCD相机快速处理器在业界位于领xian水平自动对焦3、双模式三维表面形貌仪原子力显微镜探针扫描可用于大型模板X,Y,Z三向可达原子级分辨率大压电探针扫描XY:达到110x110um4、双模式三维表面形貌仪变焦粗糙度表面分析快速分析特点:一台设备上集成非接触式白光干涉形貌仪+高精度原子力显微镜仪器网-专业分析仪器服务平台,实验室仪器设备交易网,仪器行业专业网络宣传媒体。
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- 2004-09-14 09:23:03
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