洁净室高校过滤器检漏方法

洁净室高校过滤器的检漏目前有2种主要方法：

1.尘埃粒子计数器法

2.光度计法（DOP检测）

一、说明

1.过滤网的泄漏测试应当是无尘室测试中，Z复杂、Z耗时间的测量项目。泄漏测试的目的，是要确认：1.滤网的材料无破损，2.安装恰当。滤网出厂前当然要经过泄漏测试，但是在搬运与安装过程难保完全无损，而且滤网的重要性又大于一切，因此安装完毕都要做一次扫描，以确认滤材无任何泄漏。另外，若是安装不恰当，微粒会从边框漏进无尘室风口。就算是FFU系统，天花板上是负压，若是边框机有微粒日后仍旧会产生问题。因此，边框扫描一样重要。滤网泄漏测试基本上是利用滤网上游的颗粒，然后在滤网下表面与边框用微粒探测仪器搜寻有无泄漏。泄漏测试有几种不同的方式，适用在不同的场合。测试方式有：1.气胶光度计测试法，2.微粒计数器测试法，3.QX率测试法，4.外气测试法。后两种现在使用非常少。

二、方法

1.气溶胶光度计测试法

111气胶光度计测试法是Z早期的测试方式，但是因为效果非常好，到今天仍旧沿用。气胶光度计（AerosolPhotometer）是微粒计数器的一种，也是使用雷射科技，但是它在扫描空气样本的微粒之后，所给的是微粒的总体强度，不是微粒数目。DOP是一种油性化学物质，现改用PAO,加压或加热雾化之后，可以产生次微米等级的微粒，可用来模拟无尘室的微粒，因此被当成验证微粒。

2.微粒计数器测试法

111半导体业方面，早期也是使用DOP/PAO与气胶光度计，但是随着制造精密度增加，油性挑战微粒逐渐不容许在无尘室使用，因此出现使用干式灰尘当成挑战微粒，在上游施放，然后用微粒计数器在下游扫描，寻找泄漏，基本概念完全相同。经过科学家一步步研究结果，发现PSL因为微粒的粒径与浓度可以控制，因此是目前Z广为使用的标准微粒。使用时只要把PSL溶液雾化，导入滤网上游即可。

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