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上海长方光学仪器有限公司

光学元件镀膜机先进的技术介绍

来源:内容来源于网络 浏览量:1613次
【导读】  镀膜是用物理或化学的方法在材料表面镀上一层透明的电解质膜,或镀一层金属膜,目的是改变材料表面的反射和透射特性。  在可见光和红外线波段范围内,大多数金属的反射率都可达到78%~...

  镀膜是用物理或化学的方法在材料表面镀上一层透明的电解质膜,或镀一层金属膜,目的是改变材料表面的反射和透射特性。

  在可见光和红外线波段范围内,大多数金属的反射率都可达到78%~98%,但不可高于98%。无论是对于CO2激光,采用铜、钼、硅、锗等来制作反射镜,采用锗、砷化镓、硒化锌作为输出窗口和透射光学元件材料,还是对于YAG激光采用普通光学玻璃作为反射镜、输出镜和透射光学元件材料,都不能达到全反射镜的99%以上要求。不同应用时输出镜有不同透过率的要求,因此必须采用光学镀膜方法。
  对于CO2激光灯中红外线波段,常用的镀膜材料有氟化钇、氟化镨、锗等;对于YAG激光灯近红外波段或可见光波段,常用的镀膜材料有硫化锌、氟化镁、二氧化钛、氧化锆等。除了高反膜、增透膜之外,还可以镀对某波长增反射、对另一波长增透射的特殊膜,如激光倍频技术中的分光膜等。
  那诺ZG有限公司生产的光学元件镀膜机提供Z先进的技术,在一个腔体中实现原子级清洗和光学样片抛光,然后把样片传送到第二级腔体中对同一样片进行表面涂覆,整个过程不间断真空。光学元件镀膜机系统的设计也可以支持其中任一个腔体的单独使用,同时具备各自的自动上/下载片功能。  
光学元件镀膜机选配项:  向下/向上溅射  共溅射  DC,RF以及脉冲电源  离子束辅助沉积  电子束源  等离子源  光学元件镀膜机  光学元件镀膜机


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2004-09-20 09:23:06
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