LH3-SC200-SE高精密匀胶机性能指标

LH3-SC200-SE精密匀胶机是一种小型、灵活和经济的旋转匀胶设备，它可以实现价值百万美元设备（track）的上才可能达到稳定性和均匀性。
不锈钢外壳比塑料或者烤漆金属更耐久和美观；工业级别400瓦伺服电机系统，采用于track设备相同设计和程序，使您的工艺更具有实际应用意义；同类产品中领xian的Zda达到50000rpm/s的旋转加速度，确保旋转匀胶的稳定性和极高的可重复性。
主要性能指标：
主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）
旋涂程序：Z多存100组程序，每组100步，每个步骤可精确到0.1秒
转动速度：0-5,000rpm（更高速可选），考虑重片或大片旋涂安全性限定为5000rpm
旋涂加速度：0-10,000rpm/sec（更高可选），考虑重片或大片旋涂安全性限定为10000rpm/s
马达旋涂转速稳定性能误差<±1rpm
转速调节精度<1rpm，重复性<1rpm
工艺时间设定：0-3,000sec/step，时间设置精度：0.1sec
支持wafer尺寸1cm-300mm（12“圆晶）
旋涂作业均匀性：<±3%在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）
产品特性优点：
Zxin的内部紧凑设计，缩小了设备的尺寸。
7"触屏控制面板操作系统，更方便操作。
Telon?/polyethylene“密闭碗”设计可适合各种材料匀胶工艺。
标准配置转速5000rpm，并可根据用户需要进行定制。
采用工业级别伺服电机，电机设计避免光刻胶等污染物进入电机内部。
机身选用耐酸碱、耐冲击、耐腐蚀不锈钢，永不生锈，便于清洗。
排风和抽气系统位计于载片台之底部（以利于排风效率和匀胶均一性）。
透明可视，耐化学腐蚀的密封盖，可以在旋涂作业时完全隔绝光阻的溢出及有效隔绝有毒气味的散发。
产品外型尺寸：
613mm(D)*463mm(W)*306mm(H)

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