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- 【导读】激光干涉仪是一种常用的测量仪器,以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量,被广泛用于多个行业中。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度...
激光干涉仪是一种常用的测量仪器,以激光波长为已知长度,利用迈克耳逊干涉系统测量位移的通用长度测量,被广泛用于多个行业中。激光干涉仪可配合各种折射镜、反射镜等来作线性位置、速度、角度、真平度、真直度、平行度和垂直度等测量工作,并可作为精密工具机或测量仪器的校正工作。 影响激光干涉仪测量精度的主要因素: (1)激光频率稳定性:在激光干涉仪中,将激光波长作为长度基准,激光频率变化直接影响测量结果。(2)大气折射率(3)死程误差:在零位时,激光干涉仪两相干光的还有一段光程差,这一段光程差称为死程。死程的变化会引起测量误差,死程误差是激光干涉仪的一项重要误差。(4)余弦误差:在测定三坐标测量机的定位误差时,需仔细调整,使光束与滑座的运动方向平等。(5)脉冲当量误差:激光干涉仪显示的Z小一个数所对应的量值称为脉冲当量。(6)细分误差:在干涉条纹一个周期内由插细分不均匀引起的误差。(7)阿贝误差:为避免阿贝误差,需将角隅棱镜的顶点调整到所测的直线上,否则由于滑座的角运动误差引起阿贝误差。
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- 2004-07-28 09:00:00
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