激光光谱原位分析仪原理及特点分析

激光光谱原位分析仪(LIBSOPA-100)是激光诱导击穿光谱分析技术（LIBS）和原位统计分布分析技术（OPA）wan美结合的新型分析仪器。激光诱导击穿光谱原位统计分布分析技术(LIBSOPA)通过高能激光聚焦于样品表面，样品被击穿形成高温等离子体，通过检测等离子体光谱信号，获得样品的成分及元素分布信息的技术。

其分析原理是：样品表面被高能激光击穿形成等离子体，等离子体光线经过滤波,分光之后被多通道的光电倍增管检测系统检测。根据光谱特征谱线波长得出被击穿位点的元素种类;定标后对应谱线的强度表示被击穿位点元素的浓度。借助精密三维移动平台在样品激发表面很好的定位和记录，实现任意点扫描，一维线性扫描，一维深度分析和二维面扫描分析，并据此获得与材料原位置相对应的各元素原始含量及状态信息，可以用统计解析的方法定量表征材料的偏析度、疏松度等信息。该方法不但有激光光谱的非接触分析，微区分析，深度分析的优点，又具备原位统计分布分析技术的原位性和统计性。

LIBSOPA-100激光光谱原位分析仪的研制成功为材料成分分析，缺陷分析，涂镀层等样品的分析应用提供了新的技术手段及质量判据。具有以下特点：

1. 首台LIBS技术与OPA技术结合的新型分析仪器，多项ZL技术。

2. 多元素同时分析。28个元素通道，包含C,P,S元素，线性关系良好；

3. 预剥蚀时间，积分时间，门控延迟时间动态可调。

4. 分析简便、快速，无前处理过程，避免样品被污染；

5. 分析不受样品尺寸，状态，导电性，难熔与否的影响；

6. LIBS具有高灵敏度与高空间分辨率，非常适合涂层材料、薄膜材料分析；

7. 微小烧蚀光斑可进行局部微区分析，表面微损分析，适合材料缺陷分析；

8. 非接触测量，响应迅速，分析时间短，可满足实时分析以及在线分析的要求。

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