WGL光电轮廓仪

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WGL光电轮廓仪北京总代理010-59483667

热门关键词：WGL光电轮廓仪，WGL光电轮廓仪，北京慧龙环科

WGL光电轮廓仪特点：

本仪器采用非接触、光学相移干涉测量方法，测量时不损伤工件表面，能快速测得各种工件表面微观形貌的立体图形，并分析计算出测量结果。适用于测量各种量块、光学零件表面的粗糙度；标尺、度盘的刻线深度；光栅的槽形结构镀层厚度和镀层边界处的结构形貌；磁（光）盘、磁头表面结构测量；硅片表面粗糙度及其上图形结构测量等等。
由于仪器测量精度高，具有非接触和三维测量的特点，并采用计算机控制和快速分析、计算测量结果，本仪器适用于各级测试、计量研究单位工矿企业计量室，精密加工车间，也适用于高等院校和科学研究单位等。
WGL光电轮廓仪主要技术参数
表面微观不平深度测量范围
在连续表面上，相邻二象素之间没有大于1/4波长的高度突变时：1000一1nm
相邻二象素之间含有大于1/4波长的高度突变时：130一1nm
测量的重复性：δRa≤0.5nm
物镜倍率:40X
数值孔径:Φ65
工作距离:0.5mm
仪器视场目视:Φ0.25mm
摄象:0.13×0.13mm
仪器放大倍数目视:500×
摄象（计算机屏幕观察）一2500×
接收器测量列阵:1000X1000
象素尺寸:5.2×5.2m
测量时间采样（扫描）时间:1S
仪器标准镜反射率（高）:～50%
反射率（低）:～4%
照明光源:白炽灯6V5W
绿色干涉滤光片波长:λ530nm
半宽度λ10nm
主显微镜升程:110mm
工作台升程:5mm
X、丫方向移动范围:～10mm
工作台旋转运动范围:360°
工作台顷斜范围：±6°
计算机系统：P4,2.8G以上，内存1G以上17寸纯平显示器

WGL光电轮廓仪，WGL光电轮廓仪-北京慧龙环科

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2004-09-01 09:23:13

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