X射线能谱仪检验组合标样（12个）

根据GB/T 20726-2006/ISO 15632:2002“半导体探测器X射线能谱仪通则”的国标－国际标准的有关规定，对于能谱仪分辨率特性的检验，随着探测器的发展作出了新的规定：即除了应测量Mn-K峰的半高宽外，还应测量C-K和F-K峰的半高宽，并对测量所选用的样品和具体条件作了非常具体的规定：

“样品应采用密封的55Fe源来测量锰的Ka线，采用聚四氟乙烯（PTFE，Teflon）片或泊片测量碳和氟的K线。为了在用户实验室检查半高宽（FWHM），如果没有55F或出于安全考虑，不能使用55F，可以用抛光的锰样品来替代。用来测定碳和氟的K线的聚四氟乙烯片替代品可以分别使用玻璃碳和含氟矿物，如CaF2。”同时还要求用抛光、平整、洁净的镍或铜样品” 对“能量与仪器效率相关指标L/K比值的确定”。

这个标准的统一执行将会带来以下几个有益的效果：

l 便于用户可以更好地对比和检验各个能厂家产品的优劣。

l 有利于用户对正在使用中的能谱仪进行统一的仪器自检，及时了解仪器的状态，有利于分析测试参数的及时调整。

因此，每个实验室自备一套能谱仪性能检验的标样十分必要。为满足这一需求，我们特研制了这一组合。该套样品中包括有以下两类标样组成，一类是用于探测器分辨率测定的标样，即：

1、 聚四氟乙烯；C12 (C2F4)n

2、 电解锰（或MnO2）；J24 Mn: 99.99

3、 氟化钙（CaF）K50 Ca: 51.33 F: 48.67 T: 100.00

4、 玻璃碳（或金刚石）C4 C:100.00 聚四氟乙烯结构

由于该标准同时还规定了对探测器还应使用Ni和Cu标样对“能量与仪器效率相关指标L/K比值的确定”，即该组合中还应使用：

5、 铜标样 J11 Cu:99.99

6、 镍样标 J12 Ni:99.99

7、 钴标样（强度校正用） J19 Co: 99.99

8、 硅标样 J13 Si: 99.999

此外，BN和PbS也常常为许多用户用作检验EDS超轻元素分析和谱峰剥离的检验。

9、 氮化硼 C6 BN B: 43.56 N: 56.44 是很稀罕的单晶，用于检查超轻元素的分析能力

10、方铅矿 K51 GSB A70070-92 PbS Pb: 86.35 S: 13.06是标准的天然矿物，

用于检查Pb和S的分辨能力

根据GB／T 251892010“微束分析扫描电镜能谱仪定量分析参数的测定方法”的要求，至少还应该选择下面两个样品，分别检验金属和氧化物硅酸盐的分析正确性，其中，一个是不锈钢（J64），一个是橄榄石（K21），也是必须的：

11、镁橄榄石 K21 GSB 01-1415-2001 (Mg,Fe,)2SiO4

SiO2: 41.42 MgO: 49.35 FeO: 8.80 MnO: 0.11 NiO: 0.34 CaO: 0.11

Si: 19.36 Mg: 29.76 Fe: 6.84 O: 43.73 Mn: 0.09 Ni: 0.27

Ca: 0.08 T: 100.13

12、不锈钢合金J64 Fe-Cr C: 0.51 Si: 1.18 Mn: 0.50 P: 0.001 S: 0.045

Ni: 11.70 Cr: 9.92 Mo: 0.79 V: 0.47 Ti: 0.72 (余量为铁other Fe)