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日本Horiba STEC LE系列高温大流量液体汽化器

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详细介绍

仪器详情


日本Horiba STEC LE系列高温大流量液体汽化器基于合理的内部结构设计,和热传导材料的使用,LE可实现大流量的液体汽化,可FZ液体凝结。


日本Horiba STEC LE系列高温大流量液体汽化器产品简介:

基于合理的内部结构设计,和热传导材料的使用,LE可实现大流量的液体汽化,可FZ液体凝结。较高操作温度可打300℃,IPA汽化量可达30g/min(或等价)。


日本Horiba STEC LE系列高温大流量液体汽化器产品特点:

创新设计实现较大汽化率

新的喷射器嘴确保持续不断稳定汽化

全不锈钢设计,很大程度的避免腐蚀及减少颗粒物生产

支持多种液体源汽化



       

仪器参数

我们会努力按照原厂技术参数翻译编辑,如技术参数中英文有差异,以英文参数为准。

日本Horiba STEC LE系列高温大流量液体汽化器规格参数:

已应用液体源:H2O/IPA/TEOS/SICL4

很大汽化量(气体流量):

H2O:10g/min (12.4 SLM)

IPA:30g/min (11.1 SLM)

TEOS:50g/min(5.3 SLM)

SiCl4:130g/min(17.1 SLM)


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