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科幂仪器 微型单温区CVD系统

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科幂仪器 微型单温区CVD系统 核心参数
仪器分类: 管式炉
详细介绍

产品介绍:

微型单温区CVD系统管式炉是一款小型化学气相沉积薄膜类制备设备,该设备在常规产品上进行了一系列的改进,包括:供气系统集成、真空系统集成等。体现出体积小、操作方便、智能化程度高等特点。


产品特点
1.双层空气冷却钢壳保持炉表面温度低于60°C;
2.高纯状氧化铝纤维绝缘层,节约能源;
3.炉膛和加热元件上的特殊耐火涂层可延长炉子的使用寿命。

产品优势
微型单温区CVD系统管式炉是一款小型化学气相沉积薄膜类制备设备,该设备在常规产品上进行了一系列的改进,包括:供气系统集成、真空系统集成等。体现出体积小、操作方便、智能化程度高等特点。

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