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ULTRAlign 精密 XYZ 线性位移台,13 mm,需要 3 个促动器,公制

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详细介绍

M-562-XYZ ULTRAlign™精密公制线性位移台采用不锈钢结构,具有ZY的长期稳定性,并配有热匹配的淬硬钢交叉滚子轴承,具有无与伦比的性能。交叉滚子轴承和精密制造的轴承参考表面可提供异常线性的13 mm行程,绕任何轴的角度偏差均优于100μrad。我们使用六轴干涉仪测量每个平台,以确保性能。每个562级位移台轴均配备有一个不影响锁定的机构,以在锁定或解锁时保持亚微米定位。特殊设计的执行器安装块允许随时随地在任何轴上快速简便地更换执行器。可以选择手动或电动执行器来构建满足您特定分辨率要求的系统。562系列位移台的坚固设计使其非常适合重复,高使用率的工业制造和研究应用。这些平台具有较高的质量,因此具有更高的抗热性,而直径较大的轴承则可以提高平台的刚度。由于所有执行器都位于顶表面以下,因此可以轻松应对超大负载和复杂的平台配置。大量的M6孔型提供了方便的安装选项。需要三个单独出售的执行器。由于所有执行器都位于顶表面以下,因此可以轻松应对超大负载和复杂的平台配置。大量的M6孔型提供了方便的安装选项。需要三个单独出售的执行器。由于所有执行器都位于顶表面以下,因此可以轻松应对超大负载和复杂的平台配置。大量的M6孔型提供了方便的安装选项。需要三个单独出售的执行器。

技术参数

  • 位移台类型
    Right-Handed
  • 位移轴
    X, Y, Z
  • ZD位移台行程
    12.7 mm
  • 螺纹类型
    M4 and M6
  • 负载
    156 N
  • ZDZX负载
    156 N
  • 角度偏差
    <100 µrad
  • 材料
    Stainless Steel
  • 轴承
    Crossed-Roller Bearings
  • 驱动位置
    Center drive
  • 平台尺寸
    63 x 95.3 mm
  • 高度
    69.9 mm
  • 推荐使用调节螺丝
    AJS100-0.5
  • 推荐的游标卡尺
    SM-13
  • 推荐的可锁定测微头
    DM-13L
  • 推荐使用TRA 电动促动器
    TRA12CC or TRA12PPD
  • 推荐使用 TRB 电动促动器
    TRB12CC or TRB12PP
  • 推荐使用 LTA 电动促动器
    LTA-HS
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