1.即放即测！

2.10秒钟完成50nm的极薄金镀层测量！ ​

3.可无标样测量！

4.通过样品整体图像更方便选择测量位置！

1. 通过自动定位功能提高操作性

测量样品时，以往需花费约10秒的样品对焦，现在3秒内即可完成，大大提高样品定位的操作性。

2. 微区膜厚测量精度提高

通过缩小与样品间的距离等，致使在微小准直器（0.1、0.2mm）下，也能够大幅度提高膜厚测量的精度。

3. 多达5层的多镀层测量

使用薄膜FP法软件，即使没有厚度标准片也可进行多达5层10元素的多镀层测量。

4. 广域观察系统（选配）

可从最大250×200mm的样品整体图像指定测量位置。

5. 对应大型印刷线路板（选配）

可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。

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