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FT110系列X射线荧光镀层厚度测量仪

联系方式:昌信客服400-099-8330

联系我们时请说明在仪器网(www.yiqi.com)上看到的!

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详细介绍

1.即放即测!

2.10秒钟完成50nm的极薄金镀层测量!

3.可无标样测量!

4.通过样品整体图像更方便选择测量位置!

 

1. 通过自动定位功能提高操作性

测量样品时,以往需花费约10秒的样品对焦,现在3秒内即可完成,大大提高样品定位的操作性。

2. 微区膜厚测量精度提高

通过缩小与样品间的距离等,致使在微小准直器(0.10.2mm)下,也能够大幅度提高膜厚测量的精度。

3. 多达5层的多镀层测量

使用薄膜FP法软件,即使没有厚度标准片也可进行多达510元素的多镀层测量。

4. 广域观察系统(选配)

可从最大250×200mm的样品整体图像指定测量位置。

5. 对应大型印刷线路板(选配)

可对600×600mm的大型印刷线路板进行测量。

型号

FT110

测量元素

原子序号Ti22)~Bi83

X射线源

空冷式小型X射线管
管电压:50(可变更)kV
 
管电流:101000µA

检测器

比例计数管

准直器

型: 0.1 mmΦ0.2 mmΦ 他2

样品观察

CCD摄像头

对焦

激光对焦(自动)

滤波器

一次滤波器(自动切换)

样品区域

[固定]535×530 mm
  [
电动] 260×210 mm (移动量X:250 mm, Y:200   mm)

测量软件

薄膜FP法(最大2层、10种元素)、检量线法

安全功能

样品室门联锁、样品冲突防止功能、仪器诊断功能

技术资料
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