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扩散炉专用Horibastec质量流量计SEC-E40，小氮
- 品牌：美国德威尔
- 型号： SEC-E40，小氮，5SLM
- 产地：日本
- 供应商报价： ¥ 7800
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上海进申工贸有限公司
更新时间：2020-08-11 10:00:07 -
企业性质授权代理商
入驻年限第8年
营业执照已审核
- 同类产品质量流量控制器流量计(13件)
- 标签： Horiba流量计，SEC-E40，质量流量控制器
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- 扩散炉专用Horibastec质量流量计SEC-E40，小氮 核心参数
- 详细介绍
扩散炉专用Horibastec质量流量计SEC-E40，小氮
畅销型号: SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.
可选高精度数字式：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J，
Horiba MFC被广泛的应用于半导体、太阳能、实验室、环境监测仪中。尤其在扩散炉中得到了广大客户的支持。适用于从微小流量0.2sccm到大流量500slpm的控制。
另提供扩散炉专用
流量计大氮SEC-E50，N2，20SLPM；
流量计 硅烷 SEC-E40，SiH4，5SLPM；
流量计 氨气 SEC-E440J，NH3,7SLPM 或 500SCCM；
恒温水槽 Yamato BV100S;
循环泵 CP08-PPRE-10；
程序板 VS4 等。
技术规格
型号
SEC- (质量流量控制器)
SEC-E40、SEC-E40MK3
SEC-E50、SEC-E50MK3
SEF- (质量流量计)
SEF-E40
E50
适用气体种类*1
非腐蚀性气体(MK3型号适用于N2、O2、空气、H2、Ar、He)
气体接触部材质
SUS316L.氟化橡胶.PTFE、磁性不锈钢
阀门型号
非通电时 关闭
标准流量量程 (N2相应F.S.)
10/20/30/50/100/ 200/300/500 SCCM 1/2/3/5/10 SLM
20/30 SLM
流量控制范围
(适于SEC系列)2〜100% F.S.
流量测量范围
(适于SEF系列)0〜100% F.S.
响应速度
1秒以内(T98)
流量精度
±1% F.S.
直线性
±0.5% F.S.
反复性
±0.2% F.S.
工作差压值值
(适于SEC系列)10 SCCM〜5 SLM：50〜300kPa(d) 10〜30 SLM:100〜300kPa(d)
使用压力
(适于SEF系列)300kPa(G)以下
耐 压
1MPa(G)以下
外部泄漏率
1×10-8Pa・m3/s(He)以下
使用环境温度
5〜50℃(精度的确保：15〜35℃)
流量设定信号
0.1〜5VDC(输入阻抗1MΩ以上)/2〜100% F.S.
流量输出信号
0〜5VDC(最小负荷电阻2kΩ)
驱动电源
+15VDC ±5% 50mA
-15VDC ±5% 150mA 3VA
＋15VDC ±5% 50mA
−15VDC ±5% 200mA 3.9VA
标准接头*2
1/4SWL 类型
*1:关于记载以外的气体种类，请另行咨询协商。
*2也可以适用标准接头以外的接头。请另行咨询协商。
※SEC-E40/E50/E40MK3/E50MK3搭载有自动清零功能。
※入口压力是SEC-E40/50/60/E40MK3/E50MK3：最大值300kPa(G)；SEC-70/80：最大值350kPa(G)以下。
※ SCCM、SLM是表示气体的流量单位(mL/min、L/min、at、0℃、101.3kPa)的记号。本公司同时提供美国AALBORG、美国Alicat、日本KOFLOC、日本HORIBASTEC质量流量计、质量流量控制器、数字式质量流量控制器、耐腐蚀质量流量控制器
- 产品优势
- 扩散炉专用Horibastec质量流量计SEC-E40，小氮
畅销型号: SEC-E40、SEC-E50、SEC-E60、SEC-E40MK3、SEC-341、SEC-441.
可选高精度数字式：SEC-N112MGM、SEC-N114MGM、SEC-N122MGM、SEC-N132MGM、SEC-N142MGM、E440J，
Horiba MFC被广泛的应用于半导体、太阳能、实验室、环境监测仪中。尤其在扩散炉中得到了广大客户的支持。适用于从微小流量0.2sccm到大流量500slpm的控制。
另提供扩散炉专用
流量计大氮SEC-E50，N2，20SLPM；
| 测量范围: | 0-5SLM | 准确度: | 1% |
| 介质温度: | 常温 | 工作压力: | 低于1MPa |
| 管径范围: | 1/4 |
