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仪器/ 产品中心/ 电子电工仪表/ 流量仪表/ 质量流量计/ Horiba 微小液体质量流量计/质量流量控制器 LF-F/LV-F
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Horiba 微小液体质量流量计/质量流量控制器 LF-F/LV-F

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Horiba 微小液体质量流量计/质量流量控制器 LF-F/LV-F 核心参数
测量范围: 0.02g/min-100g/min 准确度: 1%
介质温度: 常温 工作压力: 低于1MPa
管径范围: 1/4
详细介绍

Horiba 微小液体质量流量计/质量流量控制器

LV-F20,LV-F30,LV-F40

概要

Horiba微小液体质量流量计/质量流量控制器LF-F/LV-F系列

搭载有世界上首次采用了冷却检测方式的流量传感器

特征

  • 通过采用数字回路,实现了高精度高速响应。

  • 可以进行微升以上的微小流量控制。

  • 可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精密流体控制。

  • 超洁净类型

选型要求:按以下规格确认型号,并请提供参数:介质名称、量程、接口尺寸。

規格 

名称

质量流量控制器

型号

LV-F20 (PO/MO)

LV-F30 (PO/MO)

LV-F40 (PO/MO)

LV-F50 (PO/MO)

LV-F60 (PO/MO)

全标度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

检测控制范围

5100% F.S.

对象液体种类*1

可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。

液体粘度*2

最大值. 0.01 Pa·s (10cp)

精度*3

±1% F.S.

直线性*3

±0.5% F.S.

重复性*3

±0.5% F.S.

响应精度

3秒以内(T98)

2秒以内(T98)

使用环境温度*4

550(1545℃精度的确保)

温度影响Span

±0.1%F.S./℃ 最大值±1%

工作差压值*5

0.050.3MPa

耐压

1MPa

压力损失

流量设定信号

模拟:0.255 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式:RS485(F-Net通信协议)

流量输出信号

模拟:05 VDC(最小负荷电阻2kΩ)数字式:RS485(F-Net通信协议)

驱动电源

+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%,   200 mA

外部泄漏规格

PO类型:1×10-8Pam3/s (He)   MO类型:5×10-12Pam3/s (He)

接液部材质

PO类型:SUS316LNiPTFEPFA MO类型:SUS316LNi

标准接头

1/16,1/8卡套;

1/8VCR

1/8SWL类型,1/8VCR类型

1/4SWL类型1/4VCR类型

 

名称

质量流量计

型号

LF-F20M-A

LF-F30M-A

LF-F40M-A

LF-F50M-A

LF-F60M-A

全标度流量(g/min)

0.02/0.05/0.1

0.2/0.5

1/2/5

10/20

50/100

检测控制范围

5100% F.S.

对象液体种类*1

可腐蚀不锈钢的HCl.HF等液体除外。

液体粘度*2

最大值. 0.1 Pa·s   (100cp)

精度*3

±1% F.S.

直线性*3

±0.5% F.S.

重复性*3

±0.5% F.S.

响应精度

3秒以内(T98)

2秒以内(T98)

使用环境温度*4

550℃(1545℃精度的确保)

温度影響Span

±0.1%F.S./℃ 最大值±1%

工作差压值值*5

最大值. 5MPa (视为流量计) / 50300kPa (with piezo控制阀)

耐压

10MPa (视为流量计)

压力損失

最大值. 500Pa

流量设定信号

模拟:0.255 VDC(输入阻抗1MΩ以上)数字式:RS485(F-Net通信协议)

流量输出信号

模拟:05 VDC(最小负荷电阻2kΩ)数字式:RS485(F-Net通信协议)

驱动电源

+15 V ±5%, 200 mA -15 V ±5%, 200 mA

外部泄漏规格

5×10-12Pa·m3/s   (He)

接液部材质

SUS316L, Ni

标准接头

1/16”1/8”SWL类型,1/8”VCR类型

1/8”SWL类型,1/8”VCR类型

1/4”SWL类型1/4”VCR类型

*1LF-F/LV-F系列质量流量控制器利用1种液体进行了流量校正(请预先指定所使用 的液体。)
不能检测含有固体物的液体。
如果混合液中混合比会发生变化时,请预先进行咨询协商。
LV-F系列质量流量控制器如果在对象液体中含有粒子等时,请在一次端(入口端)安装0.2μm(Abs.)以下的过滤器。
*2
LF-F类型质量流量控制器根据流量量程,可以适用到 最大值,0.1Pas。有关高粘度的液体请预先进行咨询协商。
*3
: 以SEMI E56-1296为准。
*4: 进行测量控制的液体温度如果低于环境温度时,使用时请把温差控制在10以 内;如果高于液体温度时,使用时请把温差控制在3以内。
*5:这是在粘度0.001Pas中的F.S.流量值。

 


产品优势
Horiba 微小液体质量流量计/质量流量控制器
LV-F20,LV-F30,LV-F40
概要

Horiba微小液体质量流量计/质量流量控制器LF-F/LV-F系列
搭载有世界上首次采用了冷却检测方式的流量传感器
特征

通过采用数字回路,实现了高精度・高速响应。
可以进行微升以上的微小流量控制。
可以进行低沸点液体材料、高粘度液体材料的精密流体控制。
超洁净类型
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