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四电弧提拉法单晶生长炉
- 品牌:沈阳科晶
- 型号: SP-MSM-4CZ
- 产地:沈阳
- 供应商报价: 面议
- 沈阳科晶自动化设备有限公司 更新时间:2024-04-26 08:08:29
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企业性质生产商
入驻年限第10年
营业执照已审核
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- 详细介绍
SP-MSM-4CZ四电弧提拉法单晶生长炉是一款采用4电弧的提拉法单晶生长炉(采用Ar气电弧对样品熔融,提拉装置提拉),其温度可达3000℃。腔体为304不锈钢腔体(带有水冷夹层),真空度可达10-5Torr.此款单晶炉特别适合生长高熔点的单晶,如Ti单晶,YSZ,SiC和CeRh2Si等等。
产品名称
SP-MSM-4CZ四电弧提拉法单晶生长炉
技术参数
腔体
1、采用304不锈钢腔体,带有水冷夹层,可通入冷却水
2、腔体上安装有石英窗口,以便观察样品
3、腔体真空度:10-5Torr(采用分子泵)
4、腔体尺寸:Φ257*360mm
真空计
1、腔体上安装有数显防腐真空计和机械压力表
电弧枪
1、共有4个电弧枪,可让样品得到均匀的温场(电弧枪都带有冷却水)
2、钨电极直径为Φ4mm
3、电弧腔体对样品的角度和距离可手动调节
4、起弧电源: 18 V / 185 A 电压380V
5、熔炼温度可达3000℃
样品台
1、采用水冷铜坩埚
2、可投如样品量为60g(按铁计算)
提拉机构
1、控制器控制提拉机构的提拉速度,转速和转速
2、提拉速度:0.2-10mm/h
3、提拉行程:0-70mm
4、转速:0-40RPM
控制单元
1、可显示和设置单晶生长的参数(起弧电流,提拉杆转速,提拉行程和转速)
真空泵
1、设备中配有一分子泵系统(机械泵+涡旋分子泵)
2、抽气速率:100L/S
3、可使设备腔体的真空度达到10-5Torr(40分钟内)
循环水冷机
1、功率:800W
2、水流速度:58L/min
3、制冷能力:5004W(17500Btu/hour)
4、温度控制:5~30°C
产品规格
设备尺寸:800mm(L)*800mm(W)*1500mm(H)