微光显微镜

微光显微镜是一种非常有用和高效的分析工具。主要检测IC中释放的光子。

亮点检测不到:

无亮点故障-欧姆接触；金属互联短路；表面反形层；硅导电路等。

亮点被屏蔽-buriedJunctions和leakagesundermetal，backside模式可以使用，但只能检测到近红外波段的发光，需要减薄抛光。

OBIRCH(光束诱导电阻变化)

光诱导电阻变化(OBIRCH)模式可以快速准确地短路IC中的元件、接线和通孔互联网中的空洞、金属中的硅沉积等缺陷。其工作原理是用激光束扫描恒定电压下的设备表面，将激光束的部分能量转化为热能。如果金属互联网有缺陷，缺陷处的温度不会通过金属线快速传递，导致缺陷处的温度积累和升高，进一步导致金属线的电阻和电流变化。OBIRCH模式分辨率高，测试精度可达na级。

光束诱导电阻变化(OBIRCH)功能和光发射(EMMI)通常集成在一个检测系统中，称为PEM，两者相辅相成，可以很好地绝大多数故障模式。

  以上就是小编为大家介绍的微光显微镜，感谢大家耐心的阅读！