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美国布鲁克台阶仪

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详细介绍


探针式表面轮廓仪

布鲁克探针式表面轮廓仪(又称“台阶仪”)历今四十载,积累大量专有技术。从传统的二维表面粗糙度和台阶高度测量,到更高级的三维表面成像和薄膜应力测试,Dektak台阶仪适用面广,为用户提供准确性高,重复性好的测量结果。

 

在教育、科研领域和半导体制程控制,Dektak广泛用于膜厚、应力、表面粗糙度和面形的测量。近几年,Dektak系统已经成为发展的太阳能电池市场的测试工具,


DektakXT

 

桌面型探针式表面轮廓仪

布鲁克DektakXT®台阶仪设计创新,实现了高的重复性和分辨率,垂直高度重复性高达4埃。这项测量性能的提高,达到了过去四十年Dektak®体系技术创新的,更加稳固了其行业中的领先地位。不论应用于研发还是产品测量,在研究工作中的广泛使用是的DektakXT地功能更强大,操作更简便易行,检测过程和数据采集也更加完善。技术的突破也实现了纳米尺度的表面轮廓测量,从而可以广泛的应用于微电子器件,半导体,电池,高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。

 

探针式轮廓仪的黄金标准

DektakXT®探针式轮廓仪的设计创新,实现了垂直高度重复性高达4埃,数据采集能力提高了40%。这一创新和突破,使得DektakXT实现了纳米尺度的表面轮廓测量,从而可以广泛的应用于微电子器件,半导体,电池,高亮度发光二极管的研发以及材料科学领域。



技术创新四十余载

 

Dektak品牌是首台基于微处理器控制的轮廓仪,实现微米测量的台阶仪,可以达到3D测量的仪器,个人电脑控制的轮廓仪,DektakXT开创性的风格,采用具有具有单拱龙门式设计,配备全彩HD摄像机,并且利用64位同步数据处理模式完成zui测量和操作效率的台阶仪。

参数:

QQ图片20170428110645.jpg

 


测试技术

探针式表面轮廓测量技术(接触模式)

测量范围

二维表面轮廓测量

可选择三维测量以及数据分析

样品观测

可选择放大倍数,视场(FOV)范围:1~4mm

探针传感器

低惯性量传感器 (LIS 3)

探针作用力

LIS 3 传感器中 1~15mg

低作用力模式

N-Lite+  低作用力  0.03~15mg

探针选项

探针曲率半径  50nm~25um

高径比针尖(HAR)10um×2um 和200um×20um ;也可以采用客户定制针尖

DektakXT_stylus_tip-450x250.jpg


DektakXT_tipexchange-450x250.jpg

咨询:182 6326 2536(微信同号);

产品优势
纳米尺度的表面轮廓测量、薄膜厚度测量、表面形貌测量、应力测量和平整度等精密测量,应用于微电子、半导体、太阳能、高亮度LED、触摸屏、YL、科学研究和材料科学领域
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