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C11011-01W 微米膜厚测量仪
- 品牌：日本滨松
- 型号： C11011-01W
- 产地：日本
- 供应商报价： 面议
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滨松光子学商贸（中国）有限公司
更新时间：2024-02-04 13:42:48 -
企业性质生产商
入驻年限第9年
营业执照已审核
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- 详细介绍
C11011-01W 微米膜厚测量仪
C11011-01W型光学微米膜厚测量仪利用激光相干度量学原理，测量速度达60Hz，适用于产品线上在线测量。此外，选配的映射系统可以测量指定样品的厚度分布。C11011-01W应用广泛，比如用于产品制造过程监控或质量控制。欢迎您登陆滨松ZG全新中文网站http://www.hamamatsu.com.cn/查看该产品更多详细信息！
特性
利用红外光度测定进行非透明样品测量
测量速度高达60 Hz
测量带图纹晶圆和带保护膜的晶圆
长工作距离
映射功能
可外部控制
参数
型号 C11011-01W 可测膜厚范围（玻璃） 25 μm to 2900 μm*1 可测膜厚范围（硅） 10 μm to 1200 μm*2 测量可重复性（硅） 100 nm*3 测量准确度（硅） < 500 μm: ±0.5 μm； > 500 μm: ±0.1 %*3 光源 红外LED（1300 nm） 光斑尺寸 φ60 μm*4 工作距离 155 mm*4 可测层数 一层（也可多层测量） 分析 峰值探测 测量时间 22.2 ms/点*5 外部控制功能 RS-232C / PIPE 接口 USB2.0 电源 AC100 V to 240 V, 50 Hz/60 Hz 功耗 50W *1：SiO2薄膜测量特性
*2：Si薄膜测量特性
*3：测量6 μm厚硅薄膜时的标准偏差
*4：可选配1000mm工作距离的模型C11011-01WL
*5：连续数据采集时间不包括分析时间
