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微光显微镜PHEMOS系列

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详细介绍

微光显微镜PHEMOS系列

特性

  • 软件环境和用户界面与高端模型一致

  • 操作简单

  • 可安装300 mm手动探针

显示功能

PHEMOS-200将发光图像叠加到高分辨率模板图像上来快速定位缺陷点。对比度增强功能可使图像更清晰,细节更多。
显示功能

  • 注释
    图像的任何位置都可以显示评论、箭头等注释符号。

  • 比例显示
    可使用分段,在图像上显示比例宽度。

  • 栅格显示
    图像上可现实水平和垂直栅格。

  • 缩略图显示
    图像可以以缩略图的形式存储和调用,stage坐标等图像信息也可显示。

  • 分屏显示
    模板图像、发光图像、叠加图像以及参考图像可一次显示在4个窗口的屏幕上。

参数

产品名称PHEMOS-200
探测目标器件发光(发光探测功能)
可用器件300 mm晶片
200 mm晶片
方块形芯片
切割后晶片、封装后器件(取决于探针和样品固定装置)
适配探针200/300 mm晶片用人工探针
200 mm晶片用双面人工探针
尺寸/重量主单元: 1360 mm (W)×1410 mm (D)×2120 mm (H), Approx. 900 kg*1
控制台:880 mm (W)×700 mm (D)×1542 mm (H), Approx. 255 kg
PC桌:1000 mm (W)×800 mm (D)×700 mm (H), Approx. 45 kg
线电压AC220 V (50 Hz/60 Hz)
功耗3000W
真空度约80 kPa
压缩空气约0.5 MPa~0.7 MPa

*1:PHEMOS主单元重量包含一个探针或等效重量。


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