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气体质量流量控制器MFC

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气体质量流量控制器MFC 核心参数
测量范围: 0-2000SLM 准确度: ±1%
介质温度: 5-65 工作压力: 25
详细介绍

上海洪柯自动化仪表公司推出的D500/D600气体质量流量控制器(Mass Flow Controller)/气体质量流量计(Mass Flow Metre)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。广泛应用于半导体、真空、太阳能、分析仪器、光电、制气、医疗、电力、化工等各个领域。产品具有精度高、重复性好、稳定性高、性价比高、工作压力范围宽、使用寿命长等特点。

流量规格(N2):

(0~5、10、20、30、50、100、200、300、500)SCCM;(0~1、2、3、5、10、20、30、50、100)SLM

准确度:

±1%F.S.

线性:

±0.5%F.S.

重复精度:

±0.2%F.S.

响应时间:

≤1Sec

工作压差范围:

(0.05~0.3)MPa

最大耐压:

10MPa

工作环境温度:

5~65℃

电气连接:

8 Pin(Mini S Plug)

输入/输出信号

Digital:RS232/RS485;

Analog:(0~5) VDC or (4 ~20)mA

电源:

7~16VDC 1A;或24VDC500mA

标准接头:

Swagelokφ3,φ6,φ10…;Swagelok 1/8″,1/4″…;

VCRφ3,φ6…;VCR 1/8″,1/4″…

外形尺寸

130*28*121mm

重量约

1.0kg

 


产品优势
上海洪柯自动化仪表公司推出的D500/D600气体质量流量控制器(Mass Flow Controller)/气体质量流量计(Mass Flow Metre)用于对气体的质量流量进行精密测量和控制。广泛应用于半导体、真空、太阳能、分析仪器、光电、制气、YL、电力、化工等各个领域。产品具有精度高、重复性好、稳定性高、性价比高、工作压力范围宽、使用寿命长等特点。
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