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氮化铝(AlN)薄膜
- 品牌:合肥科晶
- 型号: 氮化铝(AlN)薄膜
- 产地:安徽
- 供应商报价: 面议
- 合肥科晶材料技术有限公司
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企业性质
入驻年限第9年
营业执照
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- 详细介绍
产品名称:
氮化铝(AlN)薄膜
产品简介:
AllNEpitxial范本saphhire提出了氢化物气相外延(HVPE)的方法。氮化铝薄膜又是成本效益的方法,用来取代氮化铝单晶衬底。科晶真诚欢迎您的垂询!
技术参数:
尺寸dia50.8mm±1mm蓝宝石衬底取向c轴(0001)±1.0deg
衬底:Al2O3;SiC;GaN
薄膜厚度:10-5000nm
导电类型:半绝缘型位错密度:XRDFWHMof<0002><500arcsec;XRDFWHMof<10-12><1500arcsec;有效面积:>80%
抛光:单抛光
产品规格:
氮化铝(蓝宝石衬底):dia2"*1500nm±10%
注:可根据客户需求定制特殊的方向和尺寸。
标准包装:
1000级超净室,100级超净袋或单片盒封装
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