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Si上镀Al薄膜

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详细介绍

产品名称:

Si上镀Al薄膜(Aluminum?Film?on?Silicon?Wafer)

常规尺寸:

dia4" ±0.5mmx0.525 ±0.025mm

技术参数:

Al薄膜厚度:3um

薄膜电阻率:2.65microohm-cm

薄膜结晶:Weak(111)-orientedpoly-crystals

薄膜表面粗糙度:4.87nmand<10nmSi

导电类型:N型Si

电阻率:<0.005?ohm-cm?;1-10ohm-cm?

Si晶向:<100>±0.5°抛光情况:单抛

标准包装:

1000级超净室100级超净袋真空包装或单片盒装

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