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小型双炉体滑动管式炉TCVD--OTF-1200X-S2-50SL

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详细介绍

OTF-1200X-S2-50SL是一款小型的双炉体滑动管式炉,炉管为Φ50×1400mm的石英管,并配有不锈钢密封法兰,仪器最高温度可以达到1200℃。两个炉体可在滑轨上滑动,实现对原材料的蒸发/升华,及薄膜沉积。通过炉体的滑动可实现对样品快速加热,最大升温速率为100/min.同时可选择电动滑轨、质量流量计(MFC)控制的供气系统和等离子射频电源来搭建TCVD系统。

技术参数

炉体结构

  • 两个炉体在一个滑动轨道上,炉体最高工作温度1200℃

  • 每个炉体加热区为200mm,恒温区为60mm

  • 一个滑动轨道安装在两炉体底部,可手动推动炉体滑动

  • 仪器中配有不锈钢密封法兰

总功率

2.5KW

电压

AC208-240V单相,50/60Hz,(需要20A的空气开关)

最高工作温度

1200℃

连续工作温度

1100℃

加热&冷却速率

加热速率:15°C/sec(RT-150°C);10°C/sec(150°C-250°C);7°C/sec(250°C-350°C);4°C/sec(350°C-500°C);3°C/sec(350°C-550°C);2°C/sec(550°C-650°C);1°C/sec(650°C-800°C);0.5°C/sec(800°C-1000°C);冷却速率:15°C/sec(1000-950°C);10°C/sec(950°C-900°C);7°C/sec(900°C-850°C);4°C/sec(850°C-750°C);2°C/sec(750°C-600°C);1.5°C/sec(600°C-500°C);1°C/sec(500°C-400°C);0.5°C/sec(400°C-300°C);注意:最大加热和冷却速率是通过炉体滑动来实现的,将炉体加热到目标温度,然后滑动炉体到样品位置来实现快速加热。对样品加热后,滑动炉体,使样品暴露在加热区外,来实现快速冷却

加热区长度

每个炉体的加热区为200mm

恒温区

60mm(+/-1°C@400-1200°C)

加热元件

掺钼铁铬铝合金

炉管

  • 高纯石英管

  • 尺寸:50mmO.Dx44mmI.Dx1400mmL

温度控制系统

  • 两个炉体都采用PID方式来调节温度,可设置30段升降温程序。

  • 控温仪表操作视频

  • 设置有超温和断热偶报警

  • 包括2个K型热电偶(已安装在炉体上)

  • 可选:可选择控制模块MTS-02,可使用电脑来控制炉体的升降温
    (点击图片查看详细资料)

真空法兰

  • 仪器中包含一对不锈钢密封法兰,法兰上安装有机械压力表

  • 可选购KF25接口的法兰(提高抽气速率),防腐型真空计

滑轨长度

1200mm

真空度

  • 10E-2torr(采用机械泵)

  • 如您想获得更高的真空度(<10-5torrorbetter)可选国产或进口高真空机组

  • 可在本公司选购真空泵

可选

  • 可选择电动滑轨,更好的控制快速升降温速率

  • 1-9通道质量流量计(MFC)控制的供气系统

  • 100W-500W的射频等离子源

  • 这些模块与管式炉配合可搭建起等离子增强的TCVD系统

尺寸

1500x380x620mm(炉体+滑轨)

净重

约80kg

质保期

一年质保期,终身维护(不包括炉管、密封圈和加热元件)

质量认证

  • CE认证

  • 所有电器元件(输入电压>24V)都通过了UL/MET/CSA认证

  • 本公司保证此设备通过TUV(UL61010)或CSA认证(需额外出认证费用)

使用注意事项

  • 炉管内气压不可高于0.02MPa

  • 由于气瓶内部气压较高,所以向炉管内通入气体时,气瓶上必须安装减压阀,建议在本公司选购减压阀,本公司减压阀量程为0.01MPa-0.1MPa,使用时会更加安全

  • 进入炉管的气体流量需小于200SCCM

  • 当炉体温度高于1000℃时,炉管内不可处于真空状态,炉管内的气压需和大气压相当,保持在常压状态


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