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含滑轨法兰的管式炉--OTF-1200X-SF

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详细介绍

OTF-1200X-4-SF是一款炉管尺寸为100mm,带有滑轨法兰的管式炉,最高工作温度为1200℃,此款管式炉专为客户自己搭建CVD系统而设计。

技术参数

炉体结构

  • 炉管尺寸:100mmO.Dx94mmI.Dx750mmL(石英管)

  • 最高工作温度为1100℃

  • 右端安装有一水冷滑轨法兰,以便于放样和取样

  • 在预热炉体和主反应炉体之间有一水冷法兰

  • 左端水冷法兰上有个气体接口,用于客户通入反应气体(点击图片查看详细资料)

电源

单相,220VAC,50/60Hz

最大功率

3.6KW(需要20A的空气开关)

加热区

  • 主反应炉:440mm

  • 恒温区:100mm

温控系统

  • 采用PID方式来调节温度,可设置30段升降温程序

  • 采用K型热电偶

  • 控温精度:+/-1

  • 可选购控温软件,可通电脑来设置和显示温度程序

密封法兰

右端法兰:

  • 水冷却法兰,通过冷却循环水对密封圈进行水冷(可在本公司购买循环水冷机)

  • 法兰上有KF25接口,可通过波纹管与真空泵相连接

  • 炉体内的样品台与法兰相连接,并且右端法兰为滑轨法兰,以便于放样和取样

  • 法兰上安装有一数显防腐真空计(如下图)

净重

100kg

尺寸

  • 右端法兰关闭时的尺寸:1220mm×458mm×585mm(48"LX18"WX23"H)

  • 右端法兰打开时的最大尺寸:1676mm×458mm×585mm(66"LX18"WX23"H)

质保

一年质保期,终身维护(不包含炉管、密封圈和加热元件)

质量认证

  • 质量认证

  • 所有电器元件(输入电压>24V)都通过了UL认证

  • 本公司所有高温炉都可通过TUV、UL或CSA认证

注意事项

  • 炉管内气压(相对气压)需小于0.02MPa

  • 所用气瓶上必须安装减压阀(可在本公司购买减压阀)

  • 当设备温度高于1000℃时,炉管内部不可处于真空状态,需处于常压或微正压状态

  • 进气流量需小于200sccm


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