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含滑轨法兰的管式炉--OTF-1200X-SF
- 品牌:合肥科晶
- 型号: OTF-1200X-SF
- 产地:安徽
- 供应商报价: 面议
- 合肥科晶材料技术有限公司
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企业性质
入驻年限第9年
营业执照
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- 详细介绍
OTF-1200X-4-SF是一款炉管尺寸为100mm,带有滑轨法兰的管式炉,最高工作温度为1200℃,此款管式炉专为客户自己搭建CVD系统而设计。
技术参数
炉体结构
炉管尺寸:100mmO.Dx94mmI.Dx750mmL(石英管)
最高工作温度为1100℃
右端安装有一水冷滑轨法兰,以便于放样和取样
在预热炉体和主反应炉体之间有一水冷法兰
左端水冷法兰上有个气体接口,用于客户通入反应气体(点击图片查看详细资料)
电源
单相,220VAC,50/60Hz
最大功率
3.6KW(需要20A的空气开关)
加热区
主反应炉:440mm
恒温区:100mm
温控系统
采用PID方式来调节温度,可设置30段升降温程序
采用K型热电偶
控温精度:+/-1℃
可选购控温软件,可通电脑来设置和显示温度程序
密封法兰
右端法兰:
水冷却法兰,通过冷却循环水对密封圈进行水冷(可在本公司购买循环水冷机)
法兰上有KF25接口,可通过波纹管与真空泵相连接
炉体内的样品台与法兰相连接,并且右端法兰为滑轨法兰,以便于放样和取样
法兰上安装有一数显防腐真空计(如下图)
净重
100kg
尺寸
右端法兰关闭时的尺寸:1220mm×458mm×585mm(48"LX18"WX23"H)
右端法兰打开时的最大尺寸:1676mm×458mm×585mm(66"LX18"WX23"H)
质保
一年质保期,终身维护(不包含炉管、密封圈和加热元件)
质量认证
质量认证
所有电器元件(输入电压>24V)都通过了UL认证
本公司所有高温炉都可通过TUV、UL或CSA认证
注意事项
炉管内气压(相对气压)需小于0.02MPa
所用气瓶上必须安装减压阀(可在本公司购买减压阀)
当设备温度高于1000℃时,炉管内部不可处于真空状态,需处于常压或微正压状态
进气流量需小于200sccm
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