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真空热压炉-- OTF-1200X-VHP4

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详细介绍

OTF-1200X-VHP4开启式立式炉,标配dia4”石英管真空密封,20T电动压力机。是在真空高压下制备致密化合物材料的理想工具,在5吨压力下可键合多层基片。炉子可以加热到1100 ℃并且30段程序控温。带水冷的法兰可使真空度达到10-5Torr(用分子泵)。

技术参数

最大压力

6(压力表显示10MPa)

炉膛材料

炉膛表面涂有美国进口的高温氧化铝涂层可以提高设备的加热效率,同时也可以延长炉膛的使用寿命

液压泵

  • 电动压力泵最大负载20

  • 汽缸尺寸:直径25mm

  • 可移动行程:15mm

  • 最大压力自动控制

立式炉

  • 开启式立式炉最高工作温度1100oC

  • 加热区长度:12"(300mm)

  • 30段程序控温精度+/-1oC

  • 控温仪表操作视频

  • 输出功率:2200W

  • 输入电压:208-240VAC,50/60Hz.

石英管和密封法


  • 高纯石英管100mmODx95mmIDx1200mmL

  • 石英管两端安装水冷法兰,KF-25真空接口及压力表,底部装有1/4”不锈钢针阀进气口

  • 在石英管内真空环境下通过底部可调整弯管移动液压柱,将压力传输到模具。

  • 最大真空:10-5Torr用分子泵,10-2Torr用机械泵

  • 不含真空泵、循环水冷机,可选购

耐高温压力模具

  • 石英管内的压力模具不含在内,根据要求可以定制模具

  • 高温模具单元由高纯石墨制成,最大工作压强50MPa

  • 请认真设计高温模具的尺寸,选择正确的压力。

  • 如,如果石墨坩埚的外径是dia12.7mm,只有0.8Mpa的压力可以施加到液压机(最大工作压强是50Mpa

机器尺寸


1050mm(L)x750mm(W)x1750(H)

净重

365Kg

包装重量

450Kg

质保

  • 1

  • 可额外延保


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