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近距离蒸发镀膜 ( CSS)炉

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详细介绍

OTF-1200X-RTP-II是一款快速蒸发管式炉,专门针对于用PVDCSS法来制作薄膜。此款管式炉炉管直径为11"OD,炉管内载样盘可放置3"的圆形或2"x2"的方形基片。加热元件为两组红外灯管,分别安装在腔体的顶端和底部,其升温速率高达20oC/S。温控系统为PID30段程序化控制,控温精度为+/-1oC。仪器面板上带有RS485接口,若仪表内配有控温软件,就可将升温程序和曲线导出.

技术参数

真空腔体

  • 腔体为一高纯石英管

  • 尺寸:11"ODx10.8"IDx9"H

真空法兰

  • 真空法兰材质为316不锈钢制作

  • 顶部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4"软管接头的出气口

  • 底部法兰上有一KF25接口,可以与真空泵相连接,另外安装有两个1/4"软管接头的进气口

  • 法兰是通过两个硅胶O型圈进行密封,通过真空度可达10-2torr两个法兰都可以通过手动操作进行上下移动

  • 一个数字式真空显示计安装在法兰顶部,可精确测量腔体内真空度

(点击图片查看详细资料)

混气系统

可以选择两路的混气系统于此款管式炉搭配使用(本公司生产多路浮子和多路质子混气系统)

加热元件和载样台

  • 由两组IR红外灯管进行加热

  • 额定功率800W总功率:1600W

  • 为了减小热辐射和达到快速冷却的效果,加热元件被嵌在水冷机构上

  • 一个3"的基片载样台安装腔体顶部

  • 紧贴顶部加热元件上安装有一氮化铝基片(3"Diax0.5mmThick),使其仪器使用时样品基片上的温度更加均匀

  • 3"的石墨坩埚可以放在底部加热元件上来盛装蒸发料


热电偶

两个K型热电偶分别安装在上下法兰上

温控系统

  • 两个控温系统都为PID30段程序化控温

  • 可以选购PC控温软件,将温度程序设置和温度曲线导入电脑中

工作温度

  • 两个加热区域单独工作的最高温度:<=650oC

  • 两个加热区域最大温差:<=350oC

加热和冷却速率

  • 加热速率:>8oC/S

  • 冷却速率:>10oC/S(600-100oC)

电源

208-240VAC,单相,(需20A的空气开关)

可选配件

本公司出售真空泵和水冷系统

质保期

一年质保期终身维护 (不包括炉管、密封圈和加热元件损耗件)

质量认证

CE


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