多路质量流量供气系统

产品名称：多路质量流量供气系统

产品简介：质量流量供气系统用于对气体的质量流量进行精密测量和控制，结合我公司的管式炉，可用作CVD系统和退火炉去研究气体环境影响材料。在半导体和集成电路工业、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的作用，广泛应用于电子工艺设备，如扩散、氧化、外延、CVD、等离子溅射以及镀膜设备、光纤熔炼、混气配气系统及其它分析仪器。
我公司供应的产品符合国家有关环保法律法规的规定（含采购商ISO14000环境体系要求），不会造成环境污染；
该产品符合采购商OHSMS18000职业安全健康管理体系标准的要求，不会对接触产品的人员健康造成损害！

主要特点：精度高、运作稳定可靠、工作压力范围宽（可在高压或真空条件下工作）、操作使用方便

技术参数：

可根据客户要求特殊订制
型号 标准量程
GSL-2Z 100sccm、200sccm
GSL-3Z 100sccm、200sccm、500sccm
GSL-4Z 100sccm、200sccm、200sccm、500sccm

质量流量控制器

工作电压：185-245V/50HZ

工作温度：5-45℃

工作压强：3×106Pa

最大输出功率：18W

准确度：±1%FS

线性：±0.5～1.5%
重复精度：±0.2%
响应时间：气特性：1～4 Sec，电特性：10 Sec
工作压差范围：0.1～0.5 MPa
机械压力表

量程范围：-0.1-0.15MPa（0.01MPa/grid）

针阀：316不锈钢

管件：不锈钢1/4，尼龙管L12 ID 1/4

气体混料罐：Φ80×120mm

截止阀：316不锈钢针阀Φ1/4

产品规格： 容积：600×600×650mm