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USPM-RU-W近红外显微分光测定仪

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详细介绍

奥林巴斯的USPM-RU-W近红外显微分光测定仪可以高速&高精细地进行可视光区域至近红外区域的大范围波长的分光测定。由于其可以很容易地测定通常的分光光度计所不能测定的细微区域、曲面的反射率,因此最适用于光学元件与微小的电子部件等产品。


实的测定功能
使用一台即可进行反射率、膜厚、物体颜色、透过率、入射角45度反射率的各种分光测定。

◆测定反射率
测定以物镜聚光φ17~70μm的微小点的反射率。


◆测定膜厚
活用反射率数据,测定约50nm~约10μm的单层膜、多层膜的膜厚。


◆测定物体颜色
根据反射率数据显示XY色度图、L*a*b色度图及相关数值。


◆测定透过率
从受台下部透过φ2mm的平行光,测定平面样品的透过率。(选配)


◆测定入射角为45度的反射率
从侧面向45度面反射φ2mm的平行光,测定其反射率。(选配)



域的高精度&高速测定

◆实现高速测定
使用平面光栅及线传感器进行全波长同时分光测定,从而实现高速测定。


◆最适用于测定细小部件、镜片的反射率
新设计了可以在φ17~70μm的测定区域中进行非接触测定的专用物镜。通常的分光光度计不能进行测定的细小电子部件或镜片等的曲面,也可以实现再现性很高的测定。


◆测定反射率时,不需要背面防反射处理
将专用物镜与环形照明组合,不需要进行被检测物背面的防反射处理,就可测定最薄0.2mm的反射率*。


◆可选择的膜厚测定方法
根据测定的分光反射率数据进行单层膜或多层膜的膜厚解析。可以根据用途选择**的测定方法。


技术规格:

近红外显微分光测定仪 USPM-RU-W:规格

反射率测定透过率测定*145度反射测定*1
名称近红外显微分光测定仪近红外显微分光测定仪用 
透过测定选配件
近红外显微分光测定仪用 
45度反射测定选配件
型号USPM-RU-W
测定波长380~1050nm
测定方法对参照样品的比较测定对100%基准的透过率测定对参照样品的比较测定
测定范围参照下列对物镜的规格约ø2.0mm
测定 
再现性(3σ)*2
反射率测定使用10×、20×物镜时±0.02[%]以下(430-1010nm)、 
±0.2[%]以下(上述以外)
±1.25[%]以下(430-1010nm)、 
±5.0[%]以下(左侧记载除外)
使用40×物镜时±0.05[%]以下(430-950nm)、 
±0.5[%]以下(上述以外)

厚膜测定±1% -
波长显示分解能1nm
照明附件专用卤素灯光源  JC12V 55W(平均寿命700h)
位移受台承载面尺寸:200(W)×200(D)mm   
承重:3 kg 
工作范围:(XY) ±40mm, (Z)125mm
倾斜受台承载面尺寸: 140(W)×140(D)mm 
承重: 1 kg 
工作范围:(XT) ±1°, (YT) ±1°
装置质量主体:约26 kg(PC除外)主体:约31 kg(PC除外)*3
控制电源箱:约6.7kg
装置尺寸主体部位:360(W)×446(D)×606(H)mm主体部位:360(W)×631(D)×606(H)mm
控制电源箱:250(W)×270(D)×125(H)mm
电源规格输入规格:100-240V (110VA) 50/60Hz
使用环境水平无振动的场所 
温度:15~30℃ 
湿度:15~60%RH(无结露)

*1 选件组件  *2 本社测定条件下的测定  *3 装配透过率测定套件与45度反射测定套件的总重量为33kg。

对物镜
型号USPM-OBL10XUSPM-OBL20XUSPM-OBL40X
倍率10x20x40x
NA0.120.240.24
测定范围*470μm34μm17μm
工作距离14.3mm4.2mm2.2mm
样品的曲率半径±5mm~±1mm~±1mm~

*4 点径


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