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红外退火炉(IRLA)
- 品牌:武汉嘉仪通
- 型号: IRLA
- 产地:武汉
- 供应商报价: 面议
- 武汉嘉仪通科技有限公司 更新时间:2019-07-10 15:47:44
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企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
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- 详细介绍
红外退火炉产品特点
采用国外知名品牌部件:循环水路设计,带过滤部件,延长清洗炉体水路;红外灯管寿命高达5000小时,峰值波长约为1.25微米,炉体工艺镜面抛光。
高精度控温:模糊逻辑PID控温,控温精度可达±0.1℃。
快速控温:高能流密度红外灯设计,24秒内仪器可快速升温至1150℃;同时,炉体的热容小,配合先进的冷却系统,可实现快速降温。
异常报警保护:超温和流量异常时均会自动切断加热,保护炉膛,达到报警的效果。
洁净控温:非电阻炉加热,无绝热保温材料,更适合在洁净环境中使用。
可扩展性:带观察窗,可配CCD,采集光学信号;预留接口,可加载电学测量模块等。
红外退火炉应用功能
强诱导体薄膜的结晶化退火
注入离子后的扩散退火
半导体材料的烧成与退火条件研究
快速热退火、热氧化和热氮化
电极合金化
晶向化和坚化
石墨烯等气相沉积
碳纳米管等外延生长
单晶基板热处理
红外退火炉技术参数
型号
IRLA-1200
温度范围
RT~1150℃
温控精度
±0.1℃
最大升温速率
45℃/s (真空),40℃/s (氮气)
测试气氛
真空, N2 ,惰性气体
最大样品尺寸
20 x 20 x 2,单位mm(最大)
处理材料类型
薄膜、粉体、块体、液体
温度传感器
标准K型热电偶
额定功率
4x(1KW-110V/根)
温度程序模式
温度-时间设置,最高256步,32个程序,循环、保温等功能模糊PID逻辑控温,手动/自动开始,USB485连接
外观尺寸
420X320X220,单位mm
重量
20.5kg
温升曲线图(1150℃)
- 产品优势
- 红外退火炉采用红外辐射加热技术同时搭配高精度温度控制系统,极大程度上改善了电阻式加热的弊病,同时可实现样品快速升温和退火。可广泛应用于强诱导体薄膜的结晶化退火、注入离子后的扩散退火、半导体材料的烧成与退火条件研究、快速热退火、热氧化和热氮化、电极合金化、碳纳米管等外延生长、单晶基板热处理等功能中,对新材料相关的RTP研究工作起到重要作用。
- 产品文章