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快速退火炉(LRTP)
- 品牌：武汉嘉仪通
- 型号： LRTP
- 产地：武汉
- 供应商报价： 面议
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武汉嘉仪通科技有限公司
更新时间：2019-07-10 15:47:44 -
企业性质生产商
入驻年限第6年
营业执照已审核
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- 详细介绍
快速退火炉LRTP-1200，采用红外辐射加热技术，可实现大尺寸样品（4英寸）快速升温和降温，同时搭配超高精度温度控制系统，可达到的温场均匀性，对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)等研究工作起到重要作用。
快速退火炉应用案例
快速热处理，快速退火，快速热氧化，快速热氮化
离子注入/接触退火
SiAu, SiAl, SiMo合金化
太阳能电池片键合
电阻烧结
低介电材料热处理
晶体化，致密化
其他热工艺需求
快速退火炉产品特点
可测大尺寸样品 可测单晶片样品的最大尺寸为4英寸（100mm）。
快速控温与高真空 最高升温速率可达100℃/s，真空度最高可达到10Pa。
程序设定与气路扩展 最多可创建和存储32个程序、8个PID设定，实现不同温度段的精确测试。最多可扩展至4条工艺气路（MFC），应用不同气氛环境（真空、氮气、氩气、氧气、氢氮混合气体等）。
全自动智能控制 采用全自动智能控制，包括温度、时间、气体流量、真空、气氛、冷却水等均可实现自动控制。
超高安全系数 采用炉门安全温度开启保护、温控器开启权限保护以及设备急停安全保护三重安全措施，全方位保障仪器使用安全。
快速退火炉技术参数
型号
LRTP-1200
最高温度
1150℃
最高升温速率
100℃/s
最快降温速度
200℃/min(1000℃-->400℃)
控温精度
≤0.1℃
温场均匀性
≤0.5%
腔体冷却
水冷方式，独立冷却源
衬底冷却
氮气吹扫
工艺气路
MFC控制，4路(可选氮气、氩气、氧气、氢氮混合气等)
主机尺寸
450×625×535，单位mm
- 产品优势
- 快速退火炉LRTP-1200，采用红外辐射加热技术，可实现大尺寸样品（4英寸）快速升温和降温，同时搭配超高精度温度控制系统，可达到的温场均匀性，对材料的快速热处理(RTP)、快速退火(RTA)、快速热氧化(RTO)、快速热氮化(RTN)等研究工作起到重要作用。
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