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上海伯东 考夫曼离子源中空阴极 Hollow Cathodes
- 品牌：美国KRI
- 型号： Hollow Cathodes
- 产地：美国
- 供应商报价： 面议
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伯东企业（上海）有限公司
更新时间：2024-03-27 15:06:09 -
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价格电议
离子源中空阴极 e-Mission Hollow Cathodes
上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源提供中空阴极 e-Mission Hollow Cathodes 结构紧凑, 重量轻, 可以安装在离子源或真空系统的侧面, 相对于灯丝的模式有更长的使用寿命, 这在运行忌讳突然中断的复杂工艺时, 是非常有意义的. 而且离子源中空阴极 Hollow cathode 辐射的热量更低, 可以使衬底获得更低的温度,对于对温度敏感的衬底材料而言, 使用中空阴极更有优势.
离子源中空阴极 Hollow Cathodes 型号Model
HFx
SHC1000
DSHC1000
Cathode
Yes
Yes
Yes
Neutralizer
Yes
Yes
Yes
Orientation
Vertical / Horizontal
Vertical / Horizontal
Vertical / Horizontal
Regulation
Emission
Emission
Emission
Operational gas
None
Inert
Inert
Process gases
Inert & reactive
Inert & reactive
Inert & reactive
Power Controller
FC100x
e- Mission Power Pack
e- Mission Power Pack
Model
MHC1000
LHC1000
Cathode
Yes
Yes
Neutralizer
Yes
Yes
Orientation
Vertical / Horizontal
Vertical / Horizontal
Regulation
Emission
Emission
Operational gas
Inert
Inert
Process gases
Inert & reactive
Inert & reactive
Power Controller
e- Mission Power Pack
e- Mission Power Pack
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专. 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.
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- 产品优势
- 上海伯东美国 KRI 考夫曼离子源提供中空阴极 e-Mission Hollow Cathodes 结构紧凑, 重量轻, 可以安装在离子源或真空系统的侧面, 相对于灯丝的模式有更长的使用寿命, 这在运行忌讳突然中断的复杂工艺时, 是非常有意义的. 而且离子源中空阴极 Hollow cathode 辐射的热量更低, 可以使衬底获得更低的温度,对于对温度敏感的衬底材料而言, 使用中空阴极更有优势.
