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上海伯东 KRI 考夫曼离子源 KDC 100
- 品牌:美国KRI
- 型号: KDC 100
- 产地:美国
- 供应商报价: 面议
- 伯东企业(上海)有限公司 更新时间:2024-03-27 15:06:09
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企业性质授权代理商
入驻年限第10年
营业执照已审核
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价格电议
KRI 考夫曼离子源 KDC 100 技术参数:
型号
KDC 100
供电
DC magnetic confinement
- 阴极灯丝
2
- 阳极电压
0-100V DC
电子束
OptiBeam™
- 栅极
专用, 自对准
-栅极直径
12 cm
中和器
灯丝
电源控制
KSC 1212
配置
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- 阴极中和器
Filament, Sidewinder Filament 或LFN 2000
- 安装
移动或快速法兰
- 高度
9.25'
- 直径
7.6'
- 离子束
聚焦
平行
散设
-加工材料
金属
电介质
半导体
-工艺气体
惰性
活性
混合
-安装距离
8-36”
- 自动控制
控制4种气体
* 可选: 可调角度的支架
KRI 考夫曼离子源 KDC 100 应用领域:
溅镀和蒸发镀膜 PC
辅助镀膜(光学镀膜)IBAD
表面改性, 激活 SM
离子溅射沉积和多层结构 IBSD
离子蚀刻 IBE
1978 年 Dr. Kaufman 博士在美国创立 Kaufman & Robinson, Inc 公司, 研发生产考夫曼离子源, 霍尔离子源和射频离子源. 美国考夫曼离子源历经 40 年改良及发展已取得多项专 利. KRi 离子源广泛用于离子清洗 PC, 离子蚀刻 IBE, 辅助镀膜 IBAD, 离子溅射镀膜 IBSD 领域, 上海伯东是美国考夫曼离子源中国总代理.
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上海伯东: 罗先生 台湾伯东: 王女士
T: +86-21-5046-1322 T: +886-3-567-9508 ext 161
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- 产品优势
- 上海伯东代理美国原装进口 KRI 考夫曼离子源 KDC 100 中型规格栅极离子源, 广泛加装在薄膜沉积大批量生产设备中, 考夫曼离子源 KDC 100 采用双阴极灯丝和自对准栅极, 标准配置下离子能量范围 100 至 1200ev, 离子电流可以超过 400 mA.